电池制造宣传新.ppt

? 太阳电池的制造过程 制绒 测试 DSP 背场 PECVD DSP 背极 去 PSG DSP 正极 扩散 ? 制绒 ? 制绒 — 太阳电池是要 吸收太阳光来工作的， 平整的硅片表面对光的 反射率很高，而降低这 种反射最直接的方法就 是把“光滑”的表面变 得“粗糙”。 ? 通过化学处理单元， 用 NaOH 和硅片反应， 在表面形成绒面层。 制绒 化学处理单元 SCHMID TEXTURE ? 扩散 ? 扩散 — 太阳电池要 发电就必须有 pn 结， 扩散就是在 p 型基片 上扩散形成一层 n 型 层，从而得到 pn 结。 ? 扩散炉的作用是， 使通入的磷源在高温 条件下扩散到硅片表 面，形成 n 型扩散层。 扩散 扩散炉 CT 48 所扩散炉 SECOMO 扩散炉 去 PSG 去 PSG 就是去磷、硅 玻璃 — 去掉在扩散过 程中硅片表面形成的 磷硅化合物。 HF 酸可以去掉硅片表 面生成的磷硅化合物。 刻蚀、去 PSG 刻蚀机 SC PSG ? AR Coating ? AR Coating — 用来 沉积氮化硅减反射膜， 减反膜是一层厚度与 光波波长同等程度的 薄膜 ，涂敷在元件 表面可以 消除或减弱 反射光的 目的。 ? PECVD 是在高温真 空条件下，高压电离 NH3 和 SiH4 ，在硅 片表面生成一层 SiN 膜。 AR Coating PECVD RATH@RUN SEMCO ? DSP 印刷 烧结 ? 印刷烧结 — 利用丝 网印刷将金属浆料印 刷到电池两极，再通 过高温处理使电极和 硅片形成良好欧姆接 触。 ? 丝印机是把金属浆 料印刷到硅片正反两 面，并通过高温烧结 炉，使金属浆料和硅 片形成合金，即电池 的正负极。 丝网印刷机和烧结炉 J I 激光刻蚀 由于扩散过程中 ，整个周边也被 扩散了，周围会 形成短路，为了 去掉周边的短路 ，激光刻蚀可以 很好的把周边一 层短路给去掉。 激光刻蚀 测试 可以有效测试出 高效的太阳能电 池参数，如开路 电压，短路电流 ，并联电阻，串 联电阻，功率， 转换效率，填充 因子。