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文章编号 :ISS N1005-9180(200601-0063-04Ξ
级大面积电子厂房净化空调设计胡世忠
(格林也科技 (无锡有限公司 ,江苏 214028
[摘要 ]随着微电子技术的发展 ,相应的高洁净度厂房工程也不断增多。同时对工
程的要求也不断提高 ,
本文介绍了为某著名电脑主板企业设计的大面积 100 级洁净厂房的有关内容 , 提供设计参数 ,并且注重介
绍干冷盘管在高洁净度厂房中的运用 ,该系统运行近一年 ,情况正常 ,符合规范和生产工艺要求。
[关键词 ] 洁净度 ,换气次数 ,干冷盘管 ,二次水循环 ,洁净房测试
[中图分类号 ]T U831;T U834 [文献标识码 ]B
Design of Purification Air-conditioning for large Cleanliness Class100E lectronical Workshop
H U Shizhong
(G reenaire technology(WuxiC o1,Ltd,Jiangshu214028
Abstract:With the development of micro-electronics,the project of high cleanliness w orkshop increasingly grows up,
the technical requirement is accordingly on the rise1Hereby introduces the concerning description for large cleanliness class
100clean w orkshop,designed for a renowned computer mainboard corporation1Furtherm ore,emphatically introduces DC U
function applied in high cleanliness w orkshop,the system w orks normally during the past year,con forming with the criteri2
on and crafts requirement1
K eyw ords:Cleanliness,Air exchange rate,Dry coil unit,Secondary water circulation,Clean room test
概况
本工程位于苏州某工业园内 ,厂房共有二层 ,每层建筑面积约 36500m2。洁净厂房分阶段完成 ,共分 4 期完成。本次工程为第二期 ,100 级洁净厂房约为 2680m2, 千级面积约为 580m2,普通区域 (test area面积为 5000m2(厂房平面图略。
设计主要参数
设计主要参数见表 1。
洁净空调系统设计
洁净冷负荷计算
夏季冷负荷包括 :维护结构冷负荷、人员冷负荷、照明冷负荷、生产设备冷负
荷、新风冷负荷、风管冷损、空调机组风机负荷等。经计算 :100 级区域冷负荷指标
为 880W/m2,1000 级冷负荷指标 : 480W/m2。普通区域 (test area冷负荷指标 :
600W/m2(普通区域放置测试设备 ,发热量较大。 312 100 级、 1000 级洁净房的空调
方式
洁净房采用 FH U+DC U+FFU 的空调方式 ,洁净房空调及气流组织形式见图
1。
其中 ,FH U 为新风机组 (Fresh air handing u2 nit,另外 ,新风机组对新风采取了
初、中、高效过滤处理。新风机组包括 :初效段 ,表冷段 ,中效段 ,加热段 (厂家有热水
系统 ,采用热盘管 ,加湿段 (厂家有蒸气 ,高效段。其中 ,空气清洗段厂家先要求预留 ,以
后再增加。
Ξ收稿日期 :2005-10-21
作者简介 :胡世忠 (1971-,男 ,工程师 ,主要从事中央空调工程设计。 E-
mail:hsz ong@sina1com
表 1 设计主要参数序号
房间名称面积 (m 2
洁净度
温度 (℃湿度 (%RH
换气次数 (次 /h
照度 (Lux
1chang room 3801K 21 155±±5%886002line one 105010021 155±±5ine tw o 105010021 155±±5line three
580
100
21±1
55±5%
370
1000
图 1 洁净房气流组织图
新风机组担负洁净房的湿度控制 ,保持洁净房
的正压和人员新风需求。该工程新风量取 35000m 3/h ;
DC U
为干表冷盘管
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