材料科学研究方法课件-7深大第七章－透射电子显微成像分析g.pdf

第七章 透射电子显微镜成象原理与图象解释 金相显微镜及扫描电镜均只能观察物质表 面的微观形貌，它无法获得物质内部的信息。 而透射电镜由于入射电子透射试样后，将与试 样内部原子发生相互作用，从而改变其能量及 运动方向。显然，不同结构有不同的相互作用。 这样，就可以根据透射电子图象所获得的信息 来了解试样内部的结构。由于试样结构和相互 作用的复杂性，因此所获得的图象也很复杂。 它不象表面形貌那样直观、易懂。 因此，如何对一张电子图象获得的信息作 出正确的解释和判断，不但很重要，也很困难。 必须建立一套相应的理论才能对透射电子象作 出正确的解释。如前所述电子束透过试样所得 到的透射电子束的强度及方向均发生了变化， 由于试样各部位的组织结构不同，因而透射到 荧光屏上的各点强度是不均匀的，这种强度的 不均匀分布现象就称为衬度，所获得的电子象 称为透射电子衬度象。 衬度（contrast ）定义  衬度（contrast ）定义：两个相临部分的电子束强度差 I −I ∆I C 1 2 I I 2 2  对于光学显微镜，衬度来源是材料各部分反射光的能力不 同。  当电子逸出试样下表面时，由于试样对电子束的作用，使 得透射到荧光屏上的强度是不均匀的，这种强度不均匀的 电子象称为衬度象。 其形成的机制有两种： 1.相位衬度 如果透射束与衍射束可以重新 组合，从而保持它们的振幅和 位相，则可直接得到产生衍射 的 那些晶面的晶格象，或者一个 个原子的晶体结构象。仅适于 很薄的晶体试样(≈100Å)。— —高分辨像 相位衬度—原子像  样品厚度＜100nm时，衍射波振 幅甚小，透射波振幅几乎与入射 波相同。  衍射波与透射波的相位差为π/2 。 如果物镜没有象差，且处于正焦 状态，光阑又足够大，合成波与 入射波相位位置稍有不同，但振 幅没变，没有衬度。  如果引入附加相位，使所产生的 衍射波与透射被处于相等的或相 反的相位位置，透射波与衍射波 相干就会导致振幅增加或减少， 从而使象强度发生变化，相位衬 度得到了显示。 相位衬度—原子像 The highly periodic Fe-rich layers (yellow) are separated by a Ba-rich phase (blue). 相位衬度—原子像  引入附加相位位移的方法：物镜的 球差和欠焦量。  由于透镜球差引入的程差 ABC—ABC’＝C β4 α  如果观察面位于象面之下（物镜欠焦 ∆f ），引进的程差则是  DC－D’C’ ≈-0.5∆fβ2  适当选择欠焦量，使两种效应引起的附 加相位变化是(2n－1)π／2，就可使相 位差转换成强度差，使相位衬度得以显 现。(再移动π／2，两者相位差就可为π) 欠焦量和样品厚度对图像的影 响  example of image simulation “thickness defocus map” of spinel (MgAl2O4) in 001 projection  相位衬度—原子像 HRTEM Image of a T1 Precipitate Plate (one unit-cell thick)in an Al-Cu-Li Alloy 相位衬度—原子像  多孔硅的截面像。（a）低倍像，（b）到 （e）为渐次离开表面处的高分辨像。