三维空间定位准确度定义与测量说明(精).docxVIP

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  • 2021-03-01 发布于山东
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三维空间定位准确度定义与测量说明(精).docx

三维空间定位准确度定义与测量说明 王正平 美国光动公司 1180 Mahalo Place Compton, CA 90220 310-635-7481 简介 20 年前 ,大型机器的主要定位精度为丝杆的螺距误差及热膨胀误差 ,但 直至今日 上述的大部份误差已藉由线性编码器来减少与补偿 , 因此机器的 误差转而变成以垂直度误差与直线度误差为主要原因 , 然而为了达到三维 空间定位精度 ,垂直度误差与直线度误差的测量与补偿则变得更为重要。 机床定位误差 就三轴机器而言 , 每轴共有六项误差 , 或换句话说 , 三轴共有十八误差加 上三项垂直度误差 ,这二十一项刚体误差可以表示如下 [1]: 直线位移误差 : Dx(x, Dy(y, 及 Dz(z 垂直直线度误差 : Dy(x, Dx(y, 及 Dx(z 水平直线度误差 : Dz(x, Dz(y, 及 Dy(z 横转度误差 : Ax(x, Ay(y, 及 Az(z 俯仰度误差 : Ay(x,Ax(y, 及 Ax(z 偏摇度误差 : Az(x, Az(y, 及 Ay(z 垂直度误差 : ?xy, ?yz, ?zx, 其中 D 为直线误差 ,下标表示位移方向 ,位置坐标为函数中的变量 , A 为角度误差 ,下标表示旋转方向 ,位置坐标为函数中的变量。 现有的空间精度定义 对于三轴机器而言 ,主要的定位误差为各轴的位移误差 Dx(

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