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基于永磁的超磁致伸缩机构 的应用 王磊唐久斌张山 收到:2007年12月13/受理:2009年6月15日/出版:2009年7月15日 施普林格2009年于伦敦 摘要: 超磁致伸缩致动器的有一些独特的功能，如精密的位置分辨率,几牛耳的能量 输出，快速的频率响应等特点，所以它适用于超精度测量和超精密加工领域。由 于温度的影响，传统基于永磁体的超磁致伸缩机构的位移必定呈现非线性特征。 为了避免产生这个问题，本文屮将提出另一种基于永磁体的超磁致伸缩机构。驱 动磁场如果是永久磁场，那么由于强磁致伸缩机构的电磁学转化模式可以避免产 生集肤效应和涡流损耗，此时致动器的性能明显好于其基于电磁转化的情况。本 文屮对这个驱动方式的结构及原理进行了阐述，并主要通过一些关键参数探讨了 场强对磁场均匀性的影响。最后，通过反复的位移和蠕变的实验，证明基于永磁 体的执行机构的驱动方式是先进的。 关键字：磁致伸缩微位移执行机构永磁转化涡流 1简介 在超精密测量领域和制造行业，微位移致动器，因其具备一定的高性能，总 是处于一个关键的位置［1-4］,这里的高表现在高位分辨率，大功率输出，响应速 度快，低蠕变。IT前某些类型的微位移致动器含有一些特点［5?8］如上所述，例如 电热微位移致动器，电磁微位移致动器，床电陶瓷执行器,形状记忆合金致动器 等。但这些执行机构不具备所有的特征，这在超精密测量和加工领域是很关键的。 因此，随着超磁致伸缩材料的出现，一种拥有上述所有功能的致动器己经被研制 出來。口本茨城人学研制的超磁致伸缩致动器是基于电磁驱动方式的转换和刚被提出的偏置磁场对提高线性位移的作用。为进一?步提高定位精度，温度效应必须 加以考虑。如果温度差控制在0.01° C以内，则定位精度应该是5mn。美国 ETREMA制品有限公司同时也开发岀一种超磁致仲缩致动器，其性能优良，在丄 千赫带宽时具有800?1000 N输出。拥有丄述高性能的超磁致仲缩执行器都是基 于电磁驱动方式改造的，其工作原理如图1。 图1基于电磁转化的磁致伸缩致动器的原理图 （1）柔性饺链（2）永磁体（3） Terfenol-D （4）框架（4）壳（4）电磁（4）预紧螺栓 使用螺线管的电磁驱动方式转化无法避免集肤效应和涡流引起的能量损失。 温度的变化会引起非线性驱动磁场，此时涡流造成的能量损失将更多，比如频率 损耗以及增大电流后的代价。对致动器的实验见图lo温度与螺线管屮电流2问 的关系已经得岀，见图2和图3。 0 0.2 0.4 0.6 0.8 1 1.2 电流A 图2螺线管电流与温度曲线 图3当电流为0.1A时温度随时间变化曲线 当电流达到1.2A,致动器的温度会在20° CJL下变化。当电流达到1.0A, 温度将在50分钟内大幅变动。因此，电磁驱动方式转变具有的内在缺点制约了超 磁致伸缩致动器的性能得到进一步的提高。为解决这些问题，进一?步提高致动器 的性能，在本文屮对基于使用永磁场的超磁致伸缩致动器进行了综述。当磁场变 化时将原有磁场替换成永磁场，定位的准确性和稳定性得到了大幅提升。（见表 1） 序号 单位 参数 1 环境温度 23±1°C 2 温度传感器 精度0.02弋 量程 0~100°C 分辨率2mA 3 供电 量程-2A—+2A 2永磁体空间磁场驱动方式转化 永磁体空间磁场驱动方式转化与电磁转化有很大不同。驱动磁场和产生的偏 置磁场都是永久磁场。磁场强度与永磁体和外部结构之间的气隙长度有关。出气 隙长度改变时，任何角度的致动器的驱动磁场强度都将改变。所以，致动器的特 点仅仅取决于永久磁场。永久磁场的参数包括气隙长度，永久磁场的半径，磁场 的均匀性等。 2.1执行机构的传动方式和结构 基于永磁转变的超磁致伸缩致动器的驱动方式和结构如图4所示。 导螺杆 永磁体 直径d 柔性铁链 图4基于永磁场改造的超磁致伸缩致动器原理图 致动器包括六个部分，永磁材料、稀土超磁致仲缩杆(Tcrfcnol-D杆),柔性较 链、螺丝、预紧螺栓,导螺杆。螺栓和柔性较链构成施力机制。通过拧紧导螺杆 使螺栓对Tcrfcnol-D杆和柔性较链施力。通过螺栓的施力使柔性较链对 Tcrfcnol-D杆产生一定的预紧力，因为柔性较链是一个有弹性的单元。预紧力的 值通常是0?15 MPa,执行器的最大位移输出根据预紧力值的不同而不同。永磁 体固定在导螺杆的一边，永磁体在原来位置的磁场强度与Tcrfcnol-D杆产生的偏 置磁场相对应。偏置磁场应为在8?36卡/米。驱动磁场的值取决于相应的永磁 场与螺丝间的气隙磁场。柔性较链被Tcrfcnol-D杆容纳并使柔性较链转变为 Tcrfcnol-D对微位移的张力。根据力与位移的相应关系绘制的曲线遵循胡克定律。 因为没有电流形成，传动方式不会受集肤效应和涡流损耗的影响。Tcrfcn