《特种加工》第二版第7章离散数学第二版第15章答案离散数学第二版第15章答案.ppt

微小轴的成形是通过线电极丝和被加工轴间的放电加工来实现的。线电极磨削丝缓慢沿走丝导块上导槽面滑移，被加工轴随主轴头旋转沿轴向进给。如图所示的微小电机轴是紫铜材料，其加工电压为100V，放电电容为l000PF，正极性加工，浇注的工作液为煤油。 * 4. 削边电极的加工 * 为实现高深径比微小孔的高效率加工，可采取修扁工具电极的方法。利用线电极放电磨削机构将(电极轴二边对等削去一部分。实际单侧削去部分约为轴径的1/5-1/4，既不过分削弱轴的刚度和端面放电面积，又造成足够的排屑空间。 * 用这种削边电极加工微小孔时，电极随主轴旋转，排屑效果显著改善，在加工深径比达10以上的微小孔时，能够保持稳定的加工状态和较高的进给速度。用煤油作为工作液在不锈钢材料上贯穿1mm的微小孔所用加工时间为3-4min。 * 7.5.3 微细电火花加工关键技术 1. 超低电压微细电火花加工方法 进一步缩小单脉冲去除量是微细电火花加工向更加微细乃至纳米尺度加工方向发展的重要一环。采用超低压的脉冲电源进行微细电火花加工是降低放电能量的较好方法，实践表明，电源电压在5V以上时，用直径φ15μm或φ7 μm的钨金属电极，可以进行平均电极进给速度为5μm/min的放电加工，加工出的微细孔直径φ20μm和φ8.5μm；电源电压为2V时也可进行放电加工；采用20V的电源电压，可以加工出直径φ1μm的微细轴。 * 2. 等损耗电极补偿技术 电火花加工中，不可避免的存在电极消耗问题。在微细电火花加工中，由于电极尺寸小，电极损耗比传统的电火花加工中的电极损耗率大，特别是电极的边角部分，由于损耗而会迅速变圆，如图所示使用尺寸与形状在加工中都发生变化的电极无法精确加工微细形状。如果电极的损耗是沿着轴向，而电极的形状不变，这样，通过对电极损耗长度的补偿，可以准确加工三维微细形状。 * 微电铸工艺 对显影后的样品进行微电铸，就可获得由各种金属组成的微结构器件。微电铸的原理是在电压的作用下，阳极的金属失去电子，变成金属离子进入电铸液，金属离子在阴极获得电子，沉积在阴极上。当阴极的金属表面有一层光刻胶图形时，金属只能沉积到光刻胶的空隙中，形成与光刻胶相对应的金属微结构； * 形成第2级结构　 将第1级结构清除，从而得到一个全金属的第2级结构； 微复制工艺　 由于同步辐射X光深层光刻代价较高，无法进行大批量生产，所以LIGA技术的产业化只有通过微复制技术来实现。将聚合物注入到第2级结构中进行模塑； 从金属模子中抽出模塑的聚合物从而形成第3级结构。 * * LIGA技术的工艺流程图 * 3. LIGA技术特点 可制作任意截面形状图形结构，加工精度高，可制造高宽比500以上的微细结构，其厚度可达到几百微米，并且侧壁陡峭，表面光滑； 通过注塑工艺形成的第3级结构，注塑不同的材料可以形成金属、陶瓷、玻璃等微细结构； 第2级和第3级结构通过电铸和注塑工艺可以重复复制，符合工业上大批量生产要求，制造成本相对较低等； LIGA工艺与牺牲层技术相结合可在一个工艺步骤中同时加工出固定的和活动的金属微结构，省去了调整和装配的步骤，特别适合于制作电容式微加速度传感器这样带有活动结构的三维金属微器件。 LIGA技术可加工出有较大高宽比和很高精度的微结构产品，且加工温度较低，使得它在微传感器、微执行器、微光学器件及其它微结构产品加工中显示出突出的优点。然而，它需要用的高能量X射线来自于同步回旋加速器，这一昂贵的设施和复杂的掩膜制造工艺限制了它的广泛应用。为此，人们研究了便于推广的准LIGA技术。 * 7.4.2 准LIGA技术 准LIGA技术是利用常规光刻机上的深紫外光对厚胶或光敏聚酰亚胺光刻，形成电铸模，结合电镀、化学镀或牺牲层技术，由此获得固定的或可转动的金属微结构。它不需要象LIGA技术所需的昂贵设备，制作方便，故是微结构加工的一项重要技术。 * LIGA技术 准LIGA技术 光源 同步辐射X光 常规紫外光（波长为350~450nm） 掩模板 以Au为吸收体的X射线掩模板 标准Cr掩模板 光刻胶 常用聚甲基丙烯酸甲酯PMMA 正性或负性光刻胶、聚酰亚胺、SU-8胶 深宽比 一般≤100，最高可达500 一般≤10，最高可达50 胶膜厚度 几十微米~1000μm 几微米~几十微米，最厚可达600μm 生产成本 很高 较低，约为左者的1% 侧壁垂直度 可大于89.9° 可达88° 最小尺寸 亚微米 1~数微米 加工温度 常温至5°左右 常温至5°左右 加工材料 多种金属、陶瓷及塑料等材料 多种金属、陶瓷及塑料等材料 * LIGA和准LIGA技术的特点 * (a) 电铸镍微型线圈 * (b) 电铸镍微接触探针 目前，利用UV-LIGA技术已制作出微齿轮、微线圈、光反射镜、磁传感