【国家级课程】-南京农业大学-《薄膜材料技术与物理》-1.doc

第一章 真空及真空获得 许多薄膜技术是在真空下实现的，“真空”是许多薄膜制备的必要条件，因此，掌握一定的真空知识是必需的。 一、真空的定义 压力低于一个大气压的任何气态空间。 气体处于平衡时，气体状态方程 P = nkT P：压强（Pa），n：气体分子密度（个/米3）， k：玻尔兹曼常数（1.38symbol 180 \f Symbol \s 1210-23 J/K）， V：体积（m3），m：气体质量（kg），M：分子量（kg/mol）， R：气体普适常数，T：绝对温度（K）， R=NA·k，NA：阿佛伽德罗常数（6.023symbol 180 \f Symbol \s 121023/mol） （个/米3） 在标准状态下，任何气体分子的密度3symbol 180 \f Symbol \s 121019个/cm3，“真空”是相对的。 P=1.33symbol 180 \f Symbol \s 1210-4Pa, T=293k, n=3.2symbol 180 \f Symbol \s 121010个/cm3 二、真空表示： 气体热运动概率： 自由程： symbol 115 \f Symbol \s 12：分子直径。 T = 25symbol 176 \f Symbol \s 12C l·P=0.667(cm.Pa) 三、真空度单位： 度量真空是以压强为单位的，压强高，真空度低，压强低，真空度高。 米千克秒制：1Pa=1牛顿/米2=1千克/米·秒2=10达因/cm2=7.5symbol 180 \f Symbol \s 1210-3Torr 1毫米汞柱（mmHg）=atm =1Torr =133.3Pa =1orr 四、区域划分 随着真空度的提高，“真空”的性质逐渐发生变化，经历着气体分子数的量变到“真空”质变的若干过程，构成了“真空”的不同区域。为了便于讨论和实际应用，常把真空划分为粗真空、低真空、高真空和超高真空四个区域，各区域的物理特性如表1-1所示。 表1-1 各真空区域的物理特性 区域 物理特性 粗真空 低真空 高真空 超高真空 真空度范围(Pa) 103 103~10-1 10-1~10-6 10-6 平均自由程(cm) 10-4 10-4~5 5~105 105 气流特点 1.以气体分子间的碰撞为主 2.粘滞流 过渡区域 1.以气体分子与器壁的碰撞为主 2.分子流 平均吸附时间 气体分子以空间飞行为主 气体分子以吸附停留为主 五、真空度对薄膜工艺的影响 1、减少蒸发分子与残余气体分子的碰撞。 2、抑制它们之间的反应，减少对衬底表面的玷污。 残余气体分子到达基板的速率由下式给出： P：压强， NA：阿佛伽德罗常数（6.023symbol 180 \f Symbol \s 121023/mol） T：绝对温度，R：气体普适常数 MG：残余气体的分子量 六、真空的获得： Pui：泵对i气体的极限压强（帕）。 Qi：室内各种气源（帕·升/秒）。 Si：泵对i气体的抽气速率（升/秒） Pi：i气体的分压（帕）Pa，V：真空室容积。 七、真空泵 1、机械泵：组成部件，定子、转子，嵌于转子的两个旋片以及弹簧。 工作原理：玻意耳symbol 151 \f Times New Roman \s 12symbol 151 \f Times New Roman \s 12马略特定律，PV=K。 P1(V+symbol 68 \f Symbol \s 12V)=P0V V：真空室体积 symbol 68 \f Symbol \s 12V：泵内空腔体积 P0：初始压强 nsymbol 174 \f Symbol \s 12symbol 165 \f Symbol \s 12 Pnsymbol 174 \f Symbol \s 12Pm（极限压强） 图1-1 旋片机械泵的结构 图1-2 旋片机械泵的四个典型的工作位置 泵的理论抽速：S=2symbol 119 \f Symbol \s 12symbol 68 \f Symbol \s 12V（升/秒） symbol 119 \f Symbol \s 12：转速，symbol 119 \f Symbol \s 12=1000转/分，symbol 68 \f Symbol \s 12V=1/4升，S=500升/分=8升/秒 考虑到有害空间，实际比理论小，有一系数v，则实际抽气速率： 机械泵油：密封，润滑两大作用。 对水蒸汽等可凝性气体很大困难。 2、扩散泵 工作原理：依靠从喷嘴喷出的高速（200米/秒），高密度的蒸汽流而输送气体的泵。 以油为工作蒸汽的称为油扩散泵。油扩散泵结构及工作原理图如图1