电容式位移传感器.pptVIP

电容式位移传感器; S ——极板的遮盖面积，单位为m2； ε ——极板间介质的介电系数； δ——两平行极板间的距离，单位为m； ε0 ——真空的介电常数，ε0 =8.854×10-12 F/m； εr ——极板间介质的相对介电常数，对于空气介质，εr ≈1。;3.1.2 电容式传感器的类型和特性 ;δ;下极板上移：;略去高次项，得：;非线性误差与Δδ/δ0有关。其表达式为： ;差动式变间隙型电容传感器;提高一倍;角位移变面积型;显然：电容Cθ 与角位移θ呈线性关系。 ;板状线位移变面积型;线性;同心圆筒形线位移电容式传感器;D0;(a) 厚度传感器;ε1;插入介质ε2 后的电容量为：;(c) 液位传感器;例3-1 某电容式液位传感器由直径为40mm和8mm的两个同心圆柱体组成。储存灌也是圆柱形，直径为50cm，高为1.2m。被储存液体的εr ＝2.1。计算传感器的最小电容和最大电容以及当传感器用在该储存灌内时的灵敏度。 ;同理，当被测液位高度最大，即hx= h =1.2m时传感器的电容量最大。 ;图5-5 变面积型电容传感器原理图 ;3.2 电容式传感器的测量电路;3.2.2 电容传感器的测量电路 ;（c）;图3-11 变压器式 交流电桥;Cr1;2. 运算放大器电路 ;如果传感器是一只平行板电容，则：;3. 二极管双T形电路;(b);根据一阶电路时域分析的三要素法，可直接得到电容C2的电流i 2如下： ;电容C1上的平均电流为: ;双T电路的特点： ①线路简单，可全部放在探头内，大大缩短了电容引线、减小了分布电容的影响； ②电源周期、幅值直接影响灵敏度，要求它们高度稳定； ③输出阻抗为R，而与电容无关，克服了电容式传感器高内阻的缺点； ④适用于具有线性特性的单组式和差动式电容式传感器。 ;又称差动脉冲调宽 电路 利用对传感器电容的充放电使电路输出脉冲的宽度随传感器电容量变化而变化。通过低通滤波器得到对应被测量变化的直流信号。;当接通电源后，若触发器Q端为高电平(U1)， 端为低电平(0)，则触发器通过R1对C1充电；当F点电位UF 升到与参考电压Ur 相等时，比较器A1产生一脉冲使触发器翻转，从而使Q端为低电平， 端为高电平(U1)。此时，电容C1通过二极管D1迅速放电至零，而触发器由 端经R2向C2充电；当G点电位UG与参考电压Ur相等时，比较器A2输出一脉冲使触发器翻转，此时，电容C2通过二极管D2迅速放电至零，如此交替激励。; 显然，电路充放电的时间，即触发器输出方波脉冲的宽度受电容C1、C2的调制。当C1=C2 时，电路各点的电压波形如图3-17(a)所示，Q和 两端电平的脉冲宽度相等，两端间的平均电压为零。当差动电容C1和C2的值不相等，例如C1＞C2时，C1和C2充放电时间常数发生变化，电路中各点的电压波形如图3-17(b)所示。;t;根据电路知识可知： ;A、B两点间的电压经低通滤波器滤波后获得，等于A、B两点电压平均值UA与UB之差，;对于差动式变极距型电容传感器：;可见差动脉冲调宽电路能适用于任何差动式电容传感器，并具有理论上的线性特性。该电路采用直流电源，电压稳定度高，不存在稳频、波形纯度的要求，也不需要相敏检波与解调等；对元件无线性要求；经低通滤波器可输出较大的直流电压，对输出矩形波的纯度要求也不高。;5、调频电路;被测信号;3.3 电容式传感器的特点及设计 与应用中存在的问题 ;（2）结构简单，适应性强 电容式传感器结构简单，易于制造。能在高低温、强辐射及强磁场等各种恶劣的环境条件下工作，适应能力强，尤其可以承受很大的温度变化，在高压力、高冲击、过载等情况下都能正常工作，能测超高压和低压差，也能对带磁工件进行测量。此外传感器可以做得体积很小，以便实现某些特殊要求的测量。;3．动态响应好 电容式传感器由于极板间的静电引力很小，（约10-5N），需要的作用能量极小，又由于它的可动部分可以做得很小很薄，即质量很轻，因此其固有频率很高，动态响应时间短，能在几MHz的频率下工作，特别适合动态测量。又由于其介质损耗小可以用较高频率供电，因此系统工作频率高。它可用于测量高速变化的参数，如测量振动、瞬时压力等。;4．可以实现非接触测量、具有平均效应 当被测件不能允许采用接触测量的情况下,电容传感器可以完成测量任务。当采用非接触测量时,电容式传感器具有平均效应,可以减小工件表面粗糙度等对测量的影响。 ;电容式传感器除上述优点之外，还因带电极板间的静电引力极小，因此所需输入能量极小，所以特别适宜低能量输入的测量，例如测量极低的压力、力和很小的加速度、位移