第三章透射电镜的构造与工作原理)透射电子显微分析.pptxVIP

3.3透射电镜的构造与工作原理; 图3-10 TEM镜筒工作原理简化示意图 electron source电子源，conderser lens聚光镜，condenser aperture聚光镜光阑，sample试样，objective lens物镜，objective aperture物镜光阑， projector lens投影镜，screen荧屏 ;一、 电磁透镜;（一）电磁透镜的聚焦成像原理;什么样的磁场能够使电子聚焦成像;如果电子运动方向与磁场方向成一的角度??90?，电子运动速度分解为垂直于B的分量v1和平行于B的分量v2： v1使电子作垂直于磁场强度的圆周运动， v2使电子平行于光轴沿z方向作匀速直线运动，电子合成的运动轨迹为一条螺旋线。;非均匀磁场的短磁透镜;;短磁透镜的聚焦作用 ;;（二）电磁透镜的光学性质1．电子光路和光学参量;透镜磁场对透镜焦距和放大倍数的影响 ;透镜磁场强度与透镜设计参数有关。其中极靴内孔、上下极靴之间的间隙和线圈匝数是重要的参数。 但对于一定型号的透射电镜，电磁透镜的类型和规格都已确定，透镜磁场强度的改变是通过调节电磁线圈激磁电流来实现。 而对于使用者来说，只需要调节电磁透镜电流就可以获得不同的放大倍数。 ;调节电磁透镜电流控制透镜的聚焦状态 ;2．孔径半角和透镜光阑;? 称为透镜孔径半角：非常重要，控制着照明电子束的平行相干性和电子图像的分辨率和衬度。小的照明孔径半角，电子束的平行性和相干性都较高。 物镜孔径半角大小决定了被物镜收集的电子束部分即参与成像的电子数量。散射角?小于物镜孔径半角的电子能够进入电磁透镜磁场参与成像，散射角?大于物镜孔径半角的电子不能被电磁透镜收集。;光阑 ;3．衍射现象与Airy斑;Airy斑的强度主要集中在中心亮斑，周围衍射环强度很低。Airy斑的大小用第一暗环的半径R0来衡量。 对于光学透镜成像，R0 的表达式为： （3-49） ? ——照明源的波长； ? ——孔径半角；n——物方介质折射率； M——透镜放大倍数；nsin?——称为数值孔径。 对于电磁透镜，数值孔径近似等于孔径半角。由（3-49）式可得到Airy斑的半径： （3-50） ???径半角?越大，波长?越小，电磁透镜的Airy斑半径R0越小。 ;4．像差与最小散焦斑;球差是由电磁透镜磁场中近轴区域和远轴区域对电子束的折射不同引起的。通常透镜磁场远轴区域的折射比近轴区域强。 在物点（P点）发射的电子经过具有球差的透镜后，没有会聚成为一个像点，而是会聚在一定范围的轴向距离上。在该距离范围内存在一个直径为dS的最小模糊斑，称为最小散焦斑。 最小散焦斑在光轴上的位置是最佳聚焦点。最小散焦斑折算到物平面后，相应的半径rS代表了电磁透镜球差的大小，rS越小，表明电磁透镜的球差越小。rS与球差系数CS和收集孔径半角?具有以下关系： （3-51）;CS与电磁透镜焦距有关。磁场强度越高，透镜焦距越短，CS越小。可以看出，rS随?的三次方变化，因此减小孔径半角?，能够显著降低球差。 在光学显微镜中，玻璃透镜的球差可以通过不同透镜的组合来消除。但在透射电镜中，电磁透镜的球差不能通过电磁透镜的组合来消除。目前唯一的办法是采用小孔径光阑获得尽可能小的孔径半角?，挡去高散射角电子，使参与成像的电子主要是通过磁场近轴区域的电子。;;色差是电子的速度效应，与电子束中电子的能量分布有关。能量不同的电子运动速度不同。 存在一个直径为dC的最小散焦斑。最小散焦斑折算到物平面后相应的半径rC代表了透镜色差的大小。rC越小，表明电磁透镜的色差越小。rC由下式确定： （3-52） 式中 CC——透镜色差系数，随磁场强度增加而减小； ?——孔径半角； ?E——电子束能量分布； ?E/E——电子束相对能量变化率。;电子束能量的分布取决于两个方面： 一是由加速电压不稳定引起的照明电子束的能量波动； 二是电子束与试样的非弹性作用导致一部分能量的损失，电子能量损失的程度与电子散射次数有关。一般试样越厚，电子非弹性散射的几