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非晶碳薄膜固体超滑设计的滚-滑原则 1 前言摩擦在日常生活中无处不在，影响着与人们生活息息相关的交通运输、机械加工、生物化工等各个领域1990年日本科学家Hirano目前具有超滑特性的材料可分为两类：以二硫化钼、石墨以及类金刚石碳薄膜（DLC）为代表的固体超滑材料DLC超滑理论最早由美国Argonne 国家实验室Erdemir等人提出最新研究表明，在高度氢化非晶碳薄膜实现超滑进程中除了决定性的氢钝化作用外还伴随局部界面有序。因此，高度氢化非晶碳薄膜超滑设计原则是有效钝化下前提下的界面有序。但是对于无序界面无钝化或钝化不足的情况，钝化机理并不能起作用，单纯界面有序并不能实现超滑。从碳薄膜相图及摩擦机制角度来讲，高度氢化非晶碳薄膜仅占碳薄膜种类的小部分，因此开展无钝化体系超滑（低摩擦）研究具有重要意义。基于无钝化或钝化不足碳薄膜体系的摩擦磨损性能、微/宏观结构及表面结构演变过程的相关性规律，结合前人工作进展的基础上，依据我们课题组长期研究成果，本文作者提出了无钝化或钝化不足碳薄膜体系超滑实现机理：滚-滑机理。滚-滑机理以摩擦界面形成的石墨烯或碳洋葱为特色，以实现摩擦过程中石墨烯等层间滑动或类富勒烯结构的滚动为目标的减摩机理。2 非晶碳薄膜摩擦机理2.1 滑动摩擦机理滑动摩擦机理是指低氢碳薄膜摩擦界面中形成石墨烯纳米层状结构，以微观尺度面-面接触方式为主通过层间滑移形成低剪切通道，使摩擦系数显著降低。摩擦界面只形成石墨烯结构不形成碳洋葱，即在摩擦过程中存在只滑不滚现象。石墨由多个石墨烯层以极弱的范德华力连接构成，层间极易滑动使其具有作为润滑添加剂的潜力郑泉水等在摩擦作用下，剪切诱导石墨化并形成sp我们最近工作发现在碳薄膜摩擦过程中，低温低压也可促进石墨烯层状结构的形成，但是这个过程取决于碳薄膜的初始结构通过脉冲等离子体化学气相沉积（PECVD）的方法，分别在基底和对偶球表面沉积GLC、GLC薄膜宋惠等总之，非晶碳薄膜需要高温高压作用才能克服摩擦界面高的剪切强度，而类石墨结构薄膜因为取向单一且较少弯曲的石墨层堆存在，易形成低的剪切强度通道，最终促成大尺寸石墨烯的形成。因此，滑动摩擦机理中，类石墨烯层的形成是必要前提。石墨烯纳米层的形成，使摩擦过程转化为易形成低剪切通道的滑动摩擦，对摩擦降低起了关键作用（图5）。但是滑动摩擦机理仍然受限于环境氛围，低摩擦的实现通常发生在真空或惰性气氛中。2.2 滚动摩擦机理滚动摩擦机理是指贫氢碳薄膜摩擦界面上形成碳洋葱，在微观尺度上以点-面接触方式为主，实现非公度接触从而降低摩擦。即摩擦界面只形成碳洋葱不形成石墨烯，在摩擦过程中存在只滚不滑现象。DLC结构调控研究过程中，研究者发现了一种由交联和卷曲的sp通过脉冲等离子体化学气相沉积（PECVD）的方法，分别在基底和对偶球表面沉积FLCWeingarth受颗粒状结构的启发，在摩擦界面碳洋葱滚动效应指引下，通过高频双极脉冲方法在非晶碳薄膜中引入类洋葱结构，得到类洋葱碳薄膜（OLC）。在摩擦力作用下高硬度碳洋葱颗粒从无定形碳颗粒基底中剥离出来。当碳洋葱颗粒足够多时，碳洋葱颗粒充当第三体分割开两个滑动表面，滚动摩擦开始起作用，在后继的摩擦过程中，碳洋葱团簇起到分子轴承的作用，使接触面积急剧降低，造成滚动摩擦和非公度接触，从而在30%的湿度条件下实现超滑（0.008）（图7），磨损率低至6.4×10综上，在摩擦过程中，富勒烯、碳洋葱等卷曲结构的形成是超滑实现的关键因素（图8）。壳-核结构的形成有效减小了微观尺度上对偶面间的实际接触面积，当壳-核结构颗粒足够多时，宏观尺度上实际接触面积将显著减少，从而实现超滑（低摩擦）。但是滚动摩擦机理也受限于环境，它的实现发生在大气或者湿度气氛中。2.3滚动-滑动共存摩擦机理滚动-滑动共存机理则是指贫氢碳薄膜的摩擦界面同时有石墨烯层状结构和核-壳结构的存在。即摩擦过程同时发生滚动摩擦和滑动摩擦。在我们已有工作中非晶碳薄膜需要高温高压作用才能克服摩擦界面高的剪切强度，在摩擦界面上也可形成多结构共存状态，比如非晶结构、类石墨结构、或卷曲石墨烯结构。很可能归咎于配偶面金属催化的作用3 表界面修饰非晶碳薄膜固体超滑3.1 元素掺杂的表面改性对非晶碳薄膜固体超润滑设计已有理论计算报道，通过分子动力学模拟对摩擦系数对a-C:H表面H含量变化的研究发现，相较于含氢无定形碳薄膜（a-C:H），无氢a-C薄膜中氢的引入仅仅可以提高薄膜的摩擦学性能，而不能改变薄膜的固有性能3.2 有机物的界面修饰由于环境中H4 碳薄膜的发展趋势及展望随着DLC向应用领域的扩展，它在机械、汽车、光学、生物医学、航空航天等领域具有广