(LY-QS-8.2.4-021A1)CP晶圆检验实用标准.pdfVIP

实用文档 文件名称： CP 晶圆检验标准 文件编号： LY-QS-8.2.4-021 制定单位：品经部 修订履历 生效日期 版次 修订人 修订内容 2016-8-20 A0 黄良汉 首版发行 2016-10-20 A1 王涛 1. 追加第 4 条标准内容： 针对 XW的产品边缘晶圆外 4 圈区域 （不 完整 DIE 不算一圈）的 PAD变色，不做管控，做允收判定 2. 变更公司 LOGO 增加 HD护层不良、线路不良管控要求 2016-12-22 毕明明 LY-R-4.2.3-009 A2 1. 目的 为 CP 外观检验提供依据。 文案大全 文件编号： LY-QS-8.2.4-021 版 次：A1 CP 晶圆检验标准 生效日期： 页 次： Page 2 of 9 2. 适用范围 本公司内晶圆的检验。 3. 职责 品经部：负责检验标准之制定及修改，并依本标准对产品进行抽检。 其他部门：依本标准对晶圆产品进行品质判定。 4. 标准内容 检验项目 检 验 标 准 参考图形 不可移动的异物不得存在 PAD上。 污染 晶粒上不允许有水珠和油污及光阻残 留。 晶背不可有目视可见污染，如果存在高低差（即 凹凸不平）且无法去除时，拒收 The copyright is reserved by Leadyo 版权所有，翻印必究 文件编号： LY-QS-8.2.4-021 版 次：A1 CP 晶圆检验标准 生效日期： 页 次： Page 3 of 9 除 PAD开窗外，所有护层不可有破损 护层不良 护层上有龟裂 拒收 光阻剥 落或显影 不良 造成图形异常或呈现锯齿 状. NG HD如右图护层不良，检验不管控 OK HD如右图线路不良，检验不管控 The copyright is reserved by Leadyo 版权所有，翻印必究 文件编号： LY-QS-8.2.4-021 版 次：A1 CP 晶圆检验标准 生效日期： 页