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1 课题的背景和意义 扫描式三维形貌检测系统即为三坐标测量机， 是经过 40 多年发展起来的一种高 效率的新型精密测量仪器，有着非常广泛的用途。 20 世纪 60 年代以来，工业生产有了很大的发展，特别是机床、机械、汽车、航 空航天和电子工业兴起后，各种复杂零件的研制和生产需要先进的检测技术与仪器， 因而体现三维测量技术的三坐标测量机应运而生，并迅速发展和日趋完善。作为近 40 年发展起来的一种高效率的新型精密测量仪器，三坐标测量机已广泛地用于机械 制造、电子、汽车和航空航天等工业中。它可以进行零件和部件的尺寸、形状及相互 位置的检测，例如箱体、导轨、涡轮和叶片、缸体、凸轮、齿轮、形体等空间型面的 测量。此外，还可用于划线、定中心孔、光刻集成线路等，并可对连续曲面进行扫描 及制备数控机床的加工程序等。由于它的通用性强、测量范围大、精度高、效率高、 性能好、能与柔性制造系统相连接，已成为一类大型精密仪器，故有“测量中心”之 称。 三坐标测量机主要由四大部分组成：主机机械系统（ X、Y、Z 三轴或其它）、测 头系统、电气控制硬件系统、数据处理软件系统（测量软件） 。 三坐标测量机的出现是标志计量仪器从古典的手动方式向现代化自动测试技术 过渡的一个里程碑。三坐标测量机在下述方而对三维测量技术有重要作用 : （1）解决了复杂形状表面轮廓尺寸的测量， 例如箱体零件的孔径与孔位、 叶片与 齿轮、汽车与飞机等的外廓尺寸检测； （2 ）提高了三维测量的精度， 目前高精度的坐标测量机的单轴精度， 每米长度内 可达 1 μm以内，三维空间精度可达 1 μm一 2 μm。对于车间检测用的三坐标测量机， 每米测量精度单轴也可达 3 μm一 4 μm； （3 ）由于三坐标测量机可与数控机床和加工中心配套组成生产加工线或柔性制造 系统，从而促进了自动化生产线的发展； （4 ）随着三坐标测量机的精度不断提高， 自动化程度不断发展， 促进了三维测量 技术的进步， 大大地提高了测量效率。 尤其是电子计算机的引入， 不但便于数据处理， 而且可以完成 CNC的控制功能，可缩短测量时间达 95%以上。 2 本课题相关技术的国内外发展概况 2.1 三坐标测量机的发展历程 三坐标测量机是集机械、光学、控制技术、计算机技术为一体的大型的精密测量 仪器，由于它的通用性强，测量范围大、精度高、效率高、性能好，因此自 1959 年 世界上第一台三坐标测量机在英国制造出来， 仅几十多年的历史， 它就取得了飞速的 发展，至今己经历了以下三个发展阶段 : (1) 手动数显打印型 : 这种类型坐标测量机主要用于几何尺寸测量，采用数字显 示，可打印测量结果， 一般采用手动测量。 带有电传打印系统的坐标测量机虽然解决 了数据打印问题，但记录下来的数据仍需要人工进行运算。 例如在测量机上测量孔距， 实际上测得的是孔上各点的 x 与 Y 坐标，需要进行计算处理才能得出结果，人工计 算工作量很大，所以这类测量机目前已被淘汰。 （2）手动型：带有小型电子计算机的测量机的数据系统由三部分组成 ：即数据 输入 部分、数据处理部分与数据输出部分。有了电子计算机可进行诸如工件安装倾 斜的自动校正计算、坐标变换、孔心距计算、偏差值计算等工作。并且可以预先储备 一定量的数据， 通过计量软件存储所需测量件的数学模型， 对曲线表面轮廓进行扫描 测量。此类型的三坐标测量机采用手动或机动皆可。 （3）计算机数字控制型（ CNC ）：带有小型电子计算机数据处理的测量机虽解决了 数据处理