经典实验-薄膜极片-溅射仪镀膜-机械泵回油检测报告.docxVIP

经典实验■薄膜/极片■溅射仪镀膜?机械泵 油检测报告 抛光腐蚀后镀金，SEM形貌清晰，沟壑清晰抛光后镀金， 抛光 腐蚀后镀金，SEM形貌清晰，沟壑清晰 抛光后镀金，SEM形貌清晰，沟壑清晰 实验名称：溅射仪镀膜-机械泵回油检测报告 实验目的：实验室分别以机械泵、机械泵加冷阱、爰德华分子泵对溅射腔体进行抽真空并溅射金膜， 并且每组做两个样品进行对比，检测三种情况下金膜质量。（由客户反馈科晶实验室溅射仪做扫描电 镜镀金效果差，实验室分别准备了两组对比试验与客户镀金样品进行对比,并参考对比结果进行了两 组探究试验，详细内容及结论请参考以下：） 实验设备：磁控溅射仪VTC-16-SM.机械泵TRPT2、窥气、金靶、冰块及冷阱、爱德华分子泵。 实验者：市场部 实验员：刘从辉 对比案例①： 薄膜/基底金/钙 处理方式腐蚀 科晶实验室案 例（SEM 表征）腐蚀后镀金，SEM形貌模糊，沟壑不清抛光后镀金，SEM 科晶 实验室案 例 （SEM 表 征） 腐蚀后镀金，SEM形貌模糊，沟壑不清 抛光后镀金，SEM形貌模糊，沟壑不清 对比结论：客户案例形貌清晰，沟壑明显，能很清楚观察到样品腐蚀或抛光的表明形貌;科晶实验室 案例中腐蚀与抛光形貌都比较模糊，难以分辨。对比案例②:所用真空机械泵TRP-12 Si/基 金/硅底机械泵TRP-12加冷阱 对比结论：客户案例形貌清晰，沟壑明显，能很清楚观察到样品腐蚀或抛光的表明形貌;科晶实验室 案例中腐蚀与抛光形貌都比较模糊，难以分辨。 对比案例②: 所用 真空机械泵TRP-12 Si /基 金/硅 底 机械泵TRP-12加冷阱 爱德华分子泵 科晶 实验 室案 例 球形态边界模糊 边界略显清晰，但是仍是“毛 边 边界略显清晰，但是仍是“毛 边 客户案例 球形态边界清晰可辨 对比结论：客户所做案例球形态清晰，颗粒与颗粒间分界清晰，实验室所做三组案例，虽然冷阱（第 2组）及干泵（第3组）的效果略比油泵（第1组）效果改善,但是对比客户的案例仍有很大差距, 所以实验室做了以下对比：三种工况下镀金金膜质量（溅射仪使用机械泵TRP-12.溅射仪使用机械 泵TRP-12加冷阱、溅射仪使用爱德华分子泵）： 探究案例①：（科晶实验室案例） 所 用 真 空 泵膜机械泵TRP-12 所 用 真 空 泵 膜 机械泵TRP-12 机械泵TRP-12加冷阱 爱德华分子泵 金/硅 1.形 貌 表 征表面不平整，杂质过 多表面不平整，有杂 质表面不平整2.2. 1. 形 貌 表 征 表面不平整，杂质过 多 表面不平整，有杂 质 表面不平整 2. 2. 表面不平整，杂质过 多表面不平整，杂质过 多表面不平整，杂质 过多 表面不平整，杂质过 多 表面不平整，杂质过 多 表面不平整，杂质 过多 案例①总结：三组6个样品，从每个样品上杂质的总数量来看，效果：干泵（第3组）效果〉油泵+ 冷阱（第2组）〉油泵（第1组）,其中第三组单位面积污点数量最少，膜的平整最好（三组情况金 膜颜色不同,为不同滤镜下观察，表面形貌表征的金膜颜色与金膜质量无关） 探究案例②：（实验室案例） 所 用 真 空机械泵TRP-12机械泵TRP-12加冷阱爱德华分子泵泵膜/基底金/硅1.SEM 表 征污点肉眼可见，且污点密度 大污点肉眼可见污点肉眼可以分辨污点肉眼可见，且污点密度 大 所 用 真 空 机械泵TRP-12 机械泵TRP-12加冷阱 爱德华分子泵 泵 膜/ 基 底 金/硅 1. SEM 表 征 污点肉眼可见，且污点密度 大 污点肉眼可见 污点肉眼可以分辨 污点肉眼可见，且污点密度 大 污点肉眼可见 污点肉眼可以分辨 案例②总结：从三组6个样品中看出，干泵（第3组）效果〉油泵+冷阱（第2组）〉油泵（第1组）， 其中第三组单位面积污点数量最少，由此看出冷阱对镀膜的效果改善比较的明显,干泵镀膜质量最好。 实验总结:结合案例①结论、案例②结论综合判定，冷阱、干泵方案均可提升镀膜质量，且干泵提升 膜质量效果最为明显。