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NH3槽车更换及切换作业指导书 1目的 制定NH3槽车更换作业及槽车切换标准作业指导书，使操作员有正确卡控依 据，减少人为因素异常的发生，保证设备处于正常供气运作状态。 2范围： 适用NH3 BSGS切换操作。 3参考资料 无 4定义 一车氨气只能切换2次，验证通过后正常使用2次（不包含试用验证时1次）。 切换2次分别为：当上一个槽车液氨净重剩余量低于16%, BSGS自动切换时 间点要晚上需手动切换1次、验证通过正适供气 5职责 设备工程师、设备助理工程师、设备技术员 负责日常点巡检、BSGS设备停气、送气、更换氨气槽车作业、异常处理 及反馈，依据文件要求制定氨气送货、到货时间。 6资历与训练 经培训合格设备工程师、设备助理工程师、设备技术员可上岗操作 7作业内容 7.1送气前的检查确认 槽车两侧乙二醇加热系统运行正常； 槽车上安全锁手动阀门处于打开状态 槽车出口管道至BSGS气柜伴热带温度36±l°Co 7.2送气后的检查确认 送气后马上将氨气主管控温用TC切换至使用侧（1#BSGS供气用3号TC、 2#BSGS供气 用1号TC、3BSGS供气 用1号TC）； 确认主管道入口端压力，调压阀后供气压力稳定正常； 在送气初期，伴热温度会有短暂温度无法达到设定值的情况，期间伴热温度 不应低于10°C,若15分钟内无法恢复正常，则应切回至原来的气源。排查 TC的异常后再重新送气。 监控观察氨气主管道水分仪80ppb以下，记录切换后两小时内主管水分仪的 最大测量值。 7.3槽车切换停气送气 注意：车间生产时没经允许禁止切换NH3 BSGS气柜。 现有的NH3 BSGS共有三套供气系统，其中1号/2号可互补联动；3号未 与其他两台联动。 7.3.0切换槽车操作流程图 NH3 BSGS系统#1#2为联动切换送气 l#Stop On Line停止供气状态 2#Stand by自动开启供气状态 1#手动回Stand by待机状态 7.3.1 NH3 BSGS系统设置#1#2为联动一备一用，即其中一台NH3 BSGS处于On Line （供气）状态时，另一台NH3 BSGS气柜处于Stand by （待 机）状态。 7.3.2当两台设备处于7.3.1状态时，对两个气柜均作7.1项的检查后，对 供气气柜输入密码“11234”点击操作面板上“Stop On Line”并确认，此 气柜停止供气，而处于待机状态气柜自动开启供气状态。 NH3 BSGS系统#3为单用切换送气 NH3 BSGS系统#3。作7.1项的检查后，输入密码2222点击面板上按 钮送气、停气。 待机状态 送战—［停气 点击送气按钮 7.5更换槽车操作流程图 7.5.1点击面板输入密码11234操作界面上Stop On Line使处于Stand by 状态系统Shut down, 7.5.1.1手动把槽车出口端的安全锁手拉式关闭，进入Manual Mode模 式，把槽车出口端至BSGS管道的氨气抽掉，点击打开气动阀V7、V5、V13A 和MV13A手阀抽气5分钟,再把槽车出口端手动阀关闭依次关闭气动阀门。 NONE 7.5.2 NH3 BSGS第一次吹扫：点击Start Pre Purge,软件弹出确认对话 框，点击Confirm进入下一步操作： Confirm Sequerxe Start Confirm Cancel 7.5.2.1系统会提示在Pre Purge前打开真空发生器手阀，拔掉槽车上方气 动阀，完成后点击Ok。 OperatorDETACH SOURCE APNEUMATIC LINE MANUALLY LOCK ACV OK 7.5.2.2系统弹出提示：开启手阀MV-1A,开启后点击OK。 7.5.2.3系统弹出提示：开启手阀MV-13A,开启后点击Ok。 Operator OPEN MANUAL VALVE MV-1A OK 7.5.2.4 MV?1A、MV?13A手阀打开后系统自动进行抽气10分钟。 PLEASE STAND-BYFOR NEXT INSTRUCTION 7.5.2.5抽气结束后弹出提示：关闭手阀MV-1A，完成后点击0K。 Operator CLOSE MANUAL VALVE MV-1A OK I 7.5.2.6 MV-1A手阀关闭后,NH3 BSGS自动进入(Vacuum Test)负压测试, 测试时间10分钟；负压测试完成后NH3 BSGS进行不少于150次(Purge Vent)吹扫，吹扫完成后系统第一次吹扫(Pre Purge)阶段结束。注意面板上 方提示，当显示Pre Purge Completed时表明此阶段己结束。 7.5.3 更换NH3槽车：点击Start Change Cyl,系统弹出提示：调节Purge N2