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3.3.2高能束加工技术 1.激光束加工技术 激光是20世纪的重大发明之一，它具有高亮度、良好的单色性和相干性及方向性这四大特性。 当激光光子携带的高能与物质相互作用并为改物质所吸收时，物质就具备了相应的高能量，产生加热、熔融、气化、等离子等过程。应用上述现象对材料进行加工，称为激光束加工技术。 第六十二页，共一百一十一页。 （1）激光束加工理论基础 光的波粒二象性 亚稳态能级的工作物质、激励源、光学谐振腔是形成激光束的三大要素。 高功率的激光束作用在固体表面时，固体表面吸收大量的激光能量后，导致温度升高、融化、气化、喷溅等现象达到加工的目的。 第六十三页，共一百一十一页。 （2）激光加工的装备 1．用于制造业中的激光系统即激光制造系统，一般由激光器、激光电源、光学系统、机械系统等组成，其核心为激光器。 激光器常见的有固体激光器、气体激光器、液体激光器、半导体激光器、化学激光器以及准分子激光器等。 常用的是红宝石激光器 第六十四页，共一百一十一页。 （3）激光加工工艺 1）激光打孔 孔的直径、深度、圆度、锥度、材料的硬脆性。 2）激光切割 切割速度、切割厚度、切缝的宽度。 第六十五页，共一百一十一页。 2.离子束加工技术 在真空条件下，将由离子源产生的离子经过电场加速，获得具有一定速度的离子束投射到材料表面，产生溅射效应和注入效应，这就是离子束加工的物理基础 。 分子发生能量交换。离子失去的部分能量传给工件表面的原子、分子。能量足够大时，使它们从基体材料中分离出来，由此产生工件材料的溅射。其余能量则转化为材料晶格的振动。入射粒子与原子，分子碰撞进行能量交换，可以产生一次碰撞或多次碰撞。 第六十六页，共一百一十一页。 （2）离子束的加工装备 离子束的加工设备包括离子源（离子枪），真空系统，控制系统和电源系统。对于不同类的用途，离子束加工设备各不相同，但离子源是各种设备所共有的关键部分。 第六十七页，共一百一十一页。 （3）离子束加工工艺 主要有离子束注入、离子束沉积、以及离子束刻蚀等。 离子注入离子注入是将工件放在离子注入机的真空靶中，在几十至几百千伏的电压下，把所需要元素的离子注入工件表面。 第六十八页，共一百一十一页。 3.电子束加工 利用能量密度极高的高速电子细束，在高真空腔体中冲击工件，使材料熔化、蒸发、汽化，而达到加工目的。 第六十九页，共一百一十一页。 电子束的加工装置 主要由电子枪 真空系统 控制系统 电源系统等四部分所组成。 第七十页，共一百一十一页。 3.3.3超声波加工 电火花加工和电解加工都只能加工金属导电材料，无法加工不导电的非金属材料，而超声波加工不仅能加工硬质合金、淬火钢等脆硬金属材料，而且更适合加工玻璃、陶瓷、半导体、锗和硅片等不导电的非金属脆硬材料，同时还可以用于清洗、焊接和探伤等。 第七十一页，共一百一十一页。 超声波加工（ultrasonic machining，USM）是利用工具端面作超声频振动，通过磨料悬浮液加工硬脆材料的一种加工方法 超声波加工是磨料在超声波振动作用下的机械撞击和抛磨作用与超声波空化作用的综合结果，其中磨料的连续冲击是主要的。 超声波加工的原理 第七十二页，共一百一十一页。 第七十三页，共一百一十一页。 超声波加工的生产率虽然比电火花加工和电解加工低，但其加工精度和表面质量都优于它们。 更重要的是可以加工它们难以加工的半导体和非金属的硬脆材料如玻璃、陶瓷、石英、硅、玛瑙、宝石、金刚石等， 而且对于电火花加工后的一些淬火钢、硬质合金冲模、拉丝模、塑料模等，最后还经常用超声波抛磨、光整加工，使表面粗糙度进一步降低。 超声波加工的应用 第七十四页，共一百一十一页。 3.4 现代表面工程 表面工程是一门多学科交叉，各学科相互渗透、相互联系的新学科，也是一门发展中的学科。表面工程的基础理论是表面科学，包括表面分析技术、表面物理以及表面化学三个分支。 表面技术是表面工程的核心 第七十五页，共一百一十一页。 3.4.1特种电镀技术 电镀已有200年左右的发展历史，特种电镀的产生，从典型的电刷镀技术问世有半个多世纪。纵观特种电镀的发展历程大至分以下几个阶段： 1)从传统机械制造业向电子、信息工业的渗透。 2)从普通电镀到功能电镀再到现代成形工艺的发展。 第七十六页，共一百一十一页。 3)从国有企业向民营企业的扩张。 4)从环境污染到清洁作业再到绿色电镀的过渡。电镀三废指电镀废水、废气及粉尘、废渣。 5)从手工操作到机械化、自动化与数控、柔性电镀与智能电镀。以流镀机为特征的流镀技术被誉为机械化或自动化的电镀技术，在批量化和变品种生产之间谋求均衡，其宗旨是实现电镀作业自动化。 第七