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Sheet3
Sheet2
Sheet1
气 体
比热(卡/克℃)
密度(克/升0℃)
转换系数
锗烷 GeH4
碘化氢 HI
硫化氢 H2S
硅烷 SiH4
二氯氢硅 SiH2Cl2
六氟化硫 SF6
二氧化硫 SO2
四氯化钛 TiCl4
六氟化钨 WF6
三溴化硼 BBr3
三氯化硼 BCl3
三氟化硼 BF3
硼 烷 B2H6
四氯化碳 CCl4
四氟化碳 CF4
甲烷 CH4
乙炔 C2H2
乙烯 C2H4
乙烷 C2H6
丙炔 C3H4
丙烯 C3H6
丙烷 C3H8
丁炔 C4H6
丁烯 C4H8
丁烷 C4H10
戊烷 C5H12
甲醇 CH3OH
乙醇 C2H6O
三氯乙烷 C2H3Cl3
四氯化锗 GeCl4
砷烷 AsH3
氩气 Ar
空气 Air
氧化碳 CO
二氧化碳 CO2
氰气 C2N2
氯气 Cl2
氘气 D2
氟气 F2
氢气 H2
溴化氢 HBr
氯化氢 HCl
氟化氢 HF
氦气 He
氪气 Kr
氮气 N2
氖气 Ne
氨气 NH3
一氧化氮 NO
二氧化氮 NO2
一氧化二氮 N2O
氧气 O2
三氯化磷 PCl3
磷烷 PH3
五氟化磷 PF5
三氯氧磷 POCl3
四氯化硅 SiCl4
四氟化硅 SiF4
三氯氢硅 SiHCl3
氙气 Xe
气体质量流量转换系数表
.24
1.29
1.00
.13
1.78
1.41
.12
3.48
.67
.06
11.18
.38
.12
5.23
.43
.18
3.03
.51
.50
1.24
.44
.13
6.86
.31
.17
3.96
.43
.53
.72
.72
.40
1.16
.58
.37
1.25
.60
.42
1.34
.48
.36
1.79
.42
.37
1.88
.40
.40
1.97
.35
.35
2.41
.32
.37
2.50
.29
.41
2.59
.26
.39
3.22
.22
.33
1.43
.58
.34
2.06
.39
.17
5.95
.28
.25
1.25
1.00
.20
1.96
.74
.26
2.32
.45
.11
3.16
.86
1.73
.18
1.00
.20
1.70
.93
.11
9.57
.27
.14
3.42
.57
3.42
.09
1.01
.09
3.61
1.00
.19
1.63
1.00
.35
.89
1.00
.05
5.71
1.00
.23
1.52
.84
1.24
.18
1.42
.06
3.74
1.42
.25
1.25
1.00
.25
.90
1.42
.50
.76
.72
.24
1.34
.98
.19
2.05
.74
.21
1.96
.71
.22
1.43
.99
.12
6.13
.36
.26
1.52
.69
.16
5.62
.30
.13
6.85
.30
.13
7.59
.28
.17
4.64
.35
.32
1.43
.60
.15
4.51
.41
.13
6.04
.34
.16
6.52
.26
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2.86
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8.47
.21
.10
13.29
.22
.04
5.86
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