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LDI光学系统 第六十三页，共九十六页。 LDI光学系统 第六十四页，共九十六页。 LDI定位原理 Vacuum Table PCB Panel Optical Registration Holes 第六十五页，共九十六页。 LDI特点 1.不需要绘制菲林 2.对位精度高 3.不容易产生固定位缺陷 4.批量板生产速度慢 5.尺寸不能大于24“ 6.厚度不能超过5mm 第六十六页，共九十六页。 正片：所见即所得 负片：所见非所得 正负片 第六十七页，共九十六页。 正片：所见即所得 负片：所见非所得 第六十八页，共九十六页。 正负片的定义: 正片：(所见即所得）线路区域为阻光区（无论是黑色阻光或是棕色阻光） 负片：(所见非所得）线路区域为透光区 第六十九页，共九十六页。 显影就是感光膜中曝光部分的活性基团 Na2CO3溶液反应生成可溶性物质而溶解。已曝光部分由于发生光聚反应生成大分子聚 合物，它不溶于K2CO3溶液而保留在铜面上。 定 义 反应原理 Na2CO3 = 2Na+ + CO32- H2O + CO32- = OH - + HCO3- RCOOH + K+ + OH- = RCOOK + H2O 羧基与 K+ 作用生成可溶于水的钾盐。 五、显影 第七十页，共九十六页。 a.贴膜后需要静置15分钟以上才能曝光让 已贴膜板冷却到无尘房控制温度范围， 避免热板使菲林变形。 b.贴膜板静置冷却可使干膜完全与板面贴合， 而且完全硬化。 贴膜后静置时间 第三十一页，共九十六页。 压膜时间 温 度 压 力 影响贴膜效果的主要因素 第三十二页，共九十六页。 a.贴膜压力是压膜滚轮施于干膜上的实际压力(生 产时是用气压表上力作参考) b. 影响条件:气缸气压,压膜滚轮与基板形成压痕的 长度和宽度。 * “压痕”的形状受气缸气压、滚轮直径、包胶厚 度、滚轮表面包胶硬度等因素影响。 c.测试：用测压纸测试。 影响贴膜效果的主要因素——压力 第三十三页，共九十六页。 a.贴膜温度是指干膜与板面铜箔介面的实际 温度，(生产上常以压辘温度作参考)。 b.贴膜温度决定于压辘与干膜接触时间， (贴膜时间)。 c.压辘温度预热温度介于压辘和光阻铜箔介面 的热导系数。 影响贴膜效果的主要因素——温度 第三十四页，共九十六页。 a. 压膜时间是指滚轮与干膜接触点的时间。 b.压膜时间由贴膜压力(实际是压痕宽度)与 传送速度决定。 附表(生产时以传送速度作为参考) 影响贴膜效果的主要因素——压膜时间 第三十五页，共九十六页。 贴膜辘对贴膜效果的影响 第三十六页，共九十六页。 贴膜辘对良率的影响 第三十七页，共九十六页。 曝光是指UV光线穿过菲林及保护膜，而 到达感光膜体上，使进行一连串的光聚 合反应，形成不溶于显影液聚合物。 流程图 显 影 单体发生光聚反应形成聚合体 单体吸收自由基 出现自由基 启始剂裂解 紫外光照射 四、曝光 第三十八页，共九十六页。 聚合过程 第三十九页，共九十六页。 光源 第四十页，共九十六页。 点光源 点光源 第四十一页，共九十六页。 ORC手动曝光机 1、由于曝光框架两层各为麦拉层和玻璃层，因此上下曝光的能量各不相同。 2、设备通过对灯罩的开合控制曝光时间的多少。 3、灯罩有冷却水，冷却水在保养时需要更换。 4、离子罐需要检查，无吸附能力时，需要更换。 5、反光罩对能量的均匀性有比较大影响，通常通过调整反光罩的位置来调整能量均匀性。 第四十二页，共九十六页。 平行光源 平行光源就是将由点光源发出的光经过抛物面反射通过移动反射镜来达到上下两面的先后曝光。平行光的最大优点是在曝光时，所有光线是垂直照射到光致抗蚀剂上，因而可以得到与底片“相同”的尺寸图形（显影后），得到较理想的图形。 第四十三页，共九十六页。 平行光源 1、平行光机保养时，清洁反光罩上面的灰尘，通常使用掸子掸落灰尘，再用吸尘器吸附。 2、检查过滤器有无堵塞。 第四十四页，共九十六页。 不同的干膜根据其特性不同所需曝光能量不同，曝光能量的测量可以用能量表或曝光尺。 曝光尺有21级、17级、25级曝光尺，常用的是21级曝光尺，其第一级光密度为0.05，以后每级以光密度差D为0.15递增，第21级3.05。做曝光尺应注意，不同的干膜有不同能量。 曝光尺 不同的干膜在相同能量下曝光尺的级 数不同，因此做曝光尺时应择与生产 相同的干膜。 注 意 曝光能量 第四十五