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双阴极等离子沉积技术在TC4表面改性的应用 　　摘要：提高钛合金表面耐磨耐腐蚀性能是钛合金表面改性的主要研究方向，双阴极等离子溅射沉积技术具有沉积薄膜速度快，厚度容易控制等特点，在涂层制备方面被广泛应用。文章介绍了双阴极等离子溅射沉积技术的主要原理及特点，并综述了最近几年利用该技术制备涂层用于tc4表面改性方面的一些研究成果以及对未来研究方向做了一些展望。 　　关键词：tc4表面改性;涂层;双阴极等离子溅射 　　中图分类号：tg337文献标志码：a文章编号：2095-2945（2020）07-0164-03 　　abstract：improvingthewearresistanceandcorrosionresistanceoftitaniumalloysurfaceisthemainresearchoftitaniumalloysurfacemodification.thedoublecathodeplasmasputteringdepositiontechnologyiswidelyusedincoatingpreparationwiththecharacteristicsoffastdepositionspeedandeasycontroloverthickness.thispaperintroducesthemainprincipleandcharacteristicsofthedoublecathodeplasmasputteringdepositiontechnology，andsummarizessomeresearchresultsinrecentyearsanddepictsforthefutureresearchprospects. 　　keywords：tc4surfacemodification;coating;doublecathodeplasmasputtering 　　引言 　　钛合金具有密度低，比强度高，热强度好，耐腐蚀性能好，材料具有良好的相容性等特点，广泛应用于航空航天工业、船舶、化工、汽车、医疗、体育等领域。但当钛合金用作零件副部件时，耐磨性的缺陷会影响其性能和使用寿命，同时钛合金的高温抗氧化能力差，耐腐蚀性能差，在含有cl-、f-等卤素元素的溶液中容易发生点腐蚀现象，这些因素同样制约了钛合金的发展应用。目前，关于钛合金表面耐磨、耐腐蚀性能的改性是钛合金表面改性的主要研究方向。本文基于双阴极等离子溅射沉积技术，对近几年有关学者利用该技术在tc4表面改性方面所做的研究进行了一些归纳总结。 　　1双阴极等离子溅射沉积技术 　　1.1tc4钛合金表面改性方法 　　关于钛合金表面改性技术有很多种，常见的包括电镀、化学气相沉积（cvd）、物理气相沉积（pvd）、激光表面处理、离子注入法、表面氮化技术、磁控溅射等多种技术[1]。 　　1.2双阴极等离子溅射沉积技术原理 　　双阴极等离子溅射沉积技术是基于离子氮化技术发展而来，由我国徐重教授于1985年在美国取得专利。其工作原理是利用炉内双阴极与阳极之间的双层辉光放电现象轰击源极靶材，使靶材材料溅射出来，在工件表面经沉积扩散过程形成与基体结合良好的具有特殊优良性能的表面改性涂层，工作原理图如图1所示。 　　真空炉内设有源极（靶材）和工件作为双阴极，炉顶设有阳极，当炉内抽真空至一定程度后通入惰性气体并至一定工作气压，此时源极与阳极以及工件与阳极之间通入直流电源，产生辉光放点现象，使炉内惰性气体（ar）电离成等离子状态，不断轰击源极靶材和工件，工件在等离子轰击下迅速被加热至高温，源极靶材在轰击作用下溅射出的合金元素不斷奔向工件表面，经沉积扩散过程形成一定厚度的涂层[2]。通过调节气压，源极电压，工件电压，极间距等工艺参数可以控制涂层的厚度以及质量，从而制得满意的涂层。 　　1.3双阴极等离子溅射沉积技术的特点 　　双阴极等离子溅射沉积技术作为一门日渐成熟的技术，结合了低温等离子表面冶金技术和传统渗金属技术，具有一系列优良的特点[3]。 　　（1）欲渗金属的选材范围非常广泛，不仅包括导电金属材料，还可以沉积化合物、陶瓷薄膜材料。 　　（2）渗层组织可控性高，通过控制制备过程中源极电压、工件电压、气压、温度、极间距等参数，可以对渗层组织成分、结构、性能进行控制。 　　（3）沉积效率高。在双层辉光放电过程中，由于空心阴极效应，大大提高了材料表面活化能，高能粒子的轰击作用使工件表面产生高浓度的位错密集区，为欲渗元素的沉积扩散创造了条件。 　　（4）基材选材范围广。普通钢铁材料，有色金属，陶瓷材料均可作为基体。