表面粗糙度的测量方法.pptVIP

一．表面形貌误差的概念与形成 1．表面形貌误差分类： 实际加工表面通常包含如下三种表面形貌误差： 表面粗糙度：波距λ小于1mm，大体呈周期性变化， 属于微观几何形状误差； 表 面 波度：波距λp在1~10mm，呈周期性变化， 属于中间几何形状误差； 形状 误 差：波距大于10mm，无明显周期性变化， 属于宏观几何状误差 。 2．表面粗糙度：是一种微观几何形状误差又称微观不平度。 3．表面粗糙度的产生原因：在加工过程中，刀具和零件表面 间产生磨擦、高频振动及切削时在工作表面上留下的微观 痕迹。 二．表面粗糙度的影响 表面粗糙度对机器零件的使用性能有着重要的影响，主要表现在： 1．对摩擦和磨损的影响 2．对配合性的影响 3．对接触刚度的影响 4．对疲劳强度的影响 5．对抗腐蚀性的影响 6．对结合密封性的影响 此外表面粗糙度还影响检验零件时的测量不确定度、零件外形的美观等等。 三．表面形貌测量的特点与范围 特点：通常为量程小、测量分辨率高（nm）、 表面粗糙度测量的范围 现在表面分析技术已远走出机器零件，如: 微电子工业：硅片、磁盘表面、光盘、光学元件、窗片 材料科学：表面形貌分析、材料微裂纹 生物工程：细胞生物、芯片、遗传学 科