压电定位平台Hammerstein建模与反馈线性化控制.docxVIP

压电定位平台Hammerstein建模与反应线性 化控制 以压电陶瓷作为驱动元件，以柔性较链作为导向放大机构的压电 定位平台能够提供高定位精度和快响应速度，已广泛应用于微机械制 造、微型零件的操作与装配、超精密加工、生物工程、生命与医疗科 学、光学调整、原子力显微镜、扫描隧道显微镜、半导体制造设备以 及光电等领域［［14,但PI模型只能描述静态的迟滞模型，因此， 大量学者提出改进的PI模型。如Yang等［15］在PI模型的基础上， 将play算子改为与速率有关的算子，得到一个与速率相关的PI模型。 然而，此类改进的模型使其结构复杂化，增加模型反演的数学推导难 度。建立结构简单且能描述与速率相关的迟滞特性的模型是一个难题。 近年来，有学者提出能准确描述迟滞非线性特性的Hammerstein模型, 其由静态迟滞非线性模型和线性动力学模型级联而成［16T7］。 针对迟滞非线性特性的控制方法可大致分为三类：反应控制、前馈控 制以及前馈反应复合控制。反应控制直接设计非线性控制器驱动研究 对象，使其与期望的轨迹信号保持一致［18］。这种控制方法不需要 建立迟滞逆模型，但直接构建反应控制器很复杂，且构建的反应控制 器很难保证系统稳定性。为了克服迟滞非线性特性，一些学者提出基 于迟滞逆模型的前馈补偿控制方法。如Shan等［19］提出动态迟滞 非线性模型和基于迟滞逆模型的前馈补偿控制方法。前馈补偿控制方 法具有结构简单等优点，但其依赖于迟滞逆模型的精度。当迟滞逆模Fig. 5Experimental setup 迟滞模型参数估计实验与结果基于第二节所建立的Hammerstein模型进行参数估计。以频率为 rioo Hz,幅值为100 V的扫频信号作为输入信号，驱动压电定位平 台获得辨识所需要的数据。本文选取6个play算子，根据获得的实 验数据，利用非线性最小二乘法实现模型参数估计。表1为辨识出的 Hammerstein模型参数。图6为分别输入10 Hz、50 Hz、100 Hz的 幅值为100 V的正弦电压信号时，Hammerstein模型迟滞曲线和压电 定位平台输入量与输出量之间的实际迟滞曲线的比拟。表2为不同频 率下Hammerstein迟滞建模的均方根误差。 表IHammerstein模型参数Tab. IParameters of Hammerstein model 模型参数值模型参数值 aOaOO. 392 3a5a50. 074 5alal0. 159 6a6a6-0. 042 la2a2-0. 004 3ml.ml-2. 633e-06a3a30. 073 6 C U 0. 547 8a4a40. 010 4(o ? 10 473 图610 Hz、50 Hz和100 Hz模型验证Fig. 6Model verification of 10 Hz, 50 Hz and 100 Hz 表2模型误差Tab. 2Model error 频率/Hzl0205080100RMSE/口 mO. 475 70. 389 50. 340 60. 316 90. 326 0从图6中Hammerstein模型迟滞曲线与压电定位平台输入量与输出量 之间的实际迟滞曲线的比拟可以看出，所建立的Hammerstein模型可 以很好地拟合压电定位平台的迟滞非线性特性。从表2中的模型误差 数据可以得到，在输入频率为100 Hz及以下的建模均方根误差最大 为0. 475 7 um。因此，Hammerstein模型能精确描述压电定位平台 的迟滞非线性特性。 跟踪控制实验与结果基于4.1节中获得的模型参数设计式(8)中的控制输入u,接着设 计合理的kP, kD,使e (t)收敛于零，实现输出y (t)等于期望轨 迹r (t)的目标。实验过程中取kP=5. 0X108, kD=0,跟踪轨迹信号 r (t)为不同频率的正弦信号，其幅值为60 Limo图7为分别输入 10 Hz、50 Hz、100 Hz的正弦跟踪轨迹信号时，本文提出的基于 Hammerstein模型的输入-输出反应线性化(Input-Output Feedback Linearization, IOFL)控制方法实验结果、基于MRPI模型的前馈 补偿控制方法实验结果、基于MRPI模型的前馈补偿与PID反应复合 控制方法实验结果和跟踪轨迹信号的比拟。表3为不同频率输入下三 种控制方法对应的均方根误差(Root Mean Square Error, RMSE)0图710 Hz、50 Hz和100 Hz跟踪控制结果 Fig. 7Tracking control results of 10 Hz, 50 Hz and 100 Hz表3三种控制方法的均方根误差 Tab. 3Root mean square errors