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半导体膜厚缺陷测试技术.pptxVIP

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  • 2022-10-13 发布于上海
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半导体膜厚缺陷测试技术.pptx

    会计学;测量学和缺陷检测;;集成电路测量学 ;;测量设备 ;成品率 ;质量测量 ;;膜厚 ;;;;;;;膜应力 ;折射率 ;掺杂浓度 ;;;;无图形的表面缺陷;;;;;有图形的表面缺陷 ;关键尺寸（CD） ;;;;台阶覆盖 ;;套准精度 ;电容－电压（C－V）测试 ;;;接触角度 ;分析设备 ;;TOF-SIMS：飞行时间二次离子质谱仪;AFM：原子力显微镜;XPS：X射线光电能谱仪;TEM：透射电子显微镜;EDX：能量弥散谱仪;FIB：聚焦离子束;;良品率测量点;

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