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- 2022-12-27 发布于上海
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RF炉震荡管更换方法和步骤培训教材会计学第1页/共18页教材版本号:内部管理编号:PX/BG--2011--003名称:RF炉震荡管更换方法和步骤编写:郑勇 审核:葛慈云 批准:金江教材修订履历:年/月/日修订内容修订者审核批准者第2页/共18页一:RF炉震荡管更换方法和步骤(1)稳压柜后盖板总开关(2)稳压电源开关(3)RF炉电源开关1:先打开稳压电源后再开启RF炉电源。第3页/共18页二:RF炉震荡管更换方法和步骤上极板极板升降调节开关2:调整极板升降开关,使上极板降至最低后,关闭RF炉电源第4页/共18页三:RF炉震荡管更换方法和步骤盖板螺丝盖板螺丝3:开始卸后盖板螺丝先卸下面的,最后再卸上面的一颗第5页/共18页四:RF炉震荡管更换方法和步骤风扇电机插头拔下4:注意下盖板上风机插头与炉体上的风机插座,拔下插头然后拿下后盖板第6页/共18页五:RF炉震荡管更换方法和步骤排风管5:取下排风管第7页/共18页六:RF炉震荡管更换方法和步骤紧窟套螺丝 6: 松开震荡管上的紧窟套螺丝第8页/共18页七:RF炉震荡管更换方法和步骤阳极插头7:取下阳极插头第9页/共18页八:RF炉震荡管更换方法和步骤紧窟套8:松开喉管下部紧窟套第10页/共18页九:RF炉震荡管更换方法和步骤紧窟套9:松开喉管上部紧窟套第11页/共18页十:RF炉震荡管更换方法和步骤10:取下喉管检查如有问题更换第1
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