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拉晶工艺指导书
拉
晶
工
艺
指
导
书
拉晶工艺指导书全文共33页，当前为第1页。
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一、有关说明
（一）、
晶体直径
坩埚转动（连续可调）
液压缸行程
加热功率
- 加热电压
- 加热电流
熔化温度
主炉室真空泵抽速
- 滑阀泵(主泵)
- 旋片泵(副泵)
冷态空炉子的极限真空度
冷态炉子的泄漏率（压升法） 允许工作正压
不带泵和走道的空间要求 总设备高度
外围设施
- 冷却水消耗量
- 冷却水压力
绝对压力
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