闪耀光栅制备装置及闪耀光栅制备方法.pdfVIP

下载本文档

0
0
约1.91万字
约 18页
2023-05-04 发布于北京
举报
版权申诉

闪耀光栅制备装置及闪耀光栅制备方法.pdf

1、本文档共18页，其中可免费阅读17页，需付费10金币后方可阅读剩余内容。
2、本文档内容版权归属内容提供方，所产生的收益全部归内容提供方所有。如果您对本文有版权争议，可选择认领，认领后既往收益都归您。
3、本文档由用户上传，本站不保证质量和数量令人满意，可能有诸多瑕疵，付费之前，请仔细先通过免费阅读内容等途径辨别内容交易风险。如存在严重挂羊头卖狗肉之情形，可联系本站下载客服投诉处理。
4、文档侵权举报电话：400-050-0827(电话支持时间：9:00-18:30)。
5、该文档为VIP文档，如果想要下载，成为VIP会员后，下载免费。
6、成为VIP后，下载本文档将扣除1次下载权益。下载后，不支持退款、换文档。如有疑问请联系我们。
7、成为VIP后，您将拥有八大权益，权益包括：VIP文档下载权益、阅读免打扰、文档格式转换、高级专利检索、专属身份标志、高级客服、多端互通、版权登记。
8、VIP文档为合作方或网友上传，每下载1次，网站将根据用户上传文档的质量评分、类型等，对文档贡献者给予高额补贴、流量扶持。如果你也想贡献VIP文档。上传文档

本发明涉及光栅制备技术领域，公开了一种闪耀光栅制备装置及闪耀光栅制备方法，闪耀光栅制备装置包括蒸发源，用于提供蒸发的金属镀材；光栅基板，与蒸发源间隔设置，光栅基板用于沉积金属镀材以形成光栅；狭缝组件，设于光栅基板朝向蒸发源的一侧，狭缝组件包括两个层叠设置且可相对滑动的狭缝网，每个狭缝网上开设有多个平行且用于通过金属镀材的狭缝，每个狭缝网中相邻的狭缝之间的狭缝间距为光栅常数的整数倍。上述闪耀光栅制备装置及制备方法通过设于蒸发源和光栅基板之间的狭缝组件控制金属镀材沉积到光栅基板上的位置及厚度，可制备

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114217368 A (43)申请公布日 2022.03.22 (21)申请号 202111363803.X (22)申请日 2021.11.17 (71)申请人东莞旭和光电科技有限公司