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一种基于柱状矢量偏振光束调制的双光子激光打印装置.pdfVIP

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  • 2023-05-26 发布于四川
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一种基于柱状矢量偏振光束调制的双光子激光打印装置.pdf

    本发明公开了一种基于柱状矢量偏振光束调制的双光子激光打印装置，属于超分辨激光微纳加工领域，由激光器输出的光束经过声光调制器强度调制后被准直器准直为平行光束；平行光束经过起偏器被转化为偏振光，再经1/2波片旋转偏振方向后被径向偏振光生成器转化为径向偏振光；径向偏振光依次经过两个圆锥透镜整形为环形平行光束；环形的径向偏振光被高数值孔径物镜聚焦，形成高分辨焦斑，其半高全宽小于同参数下传统圆偏光形成的焦斑，因此可以获得更高的打印分辨率；该装置中加入了能量和位置监测及稳定装置，实现焦斑的位置和能量稳定；同

    (19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112286015 A (43)申请公布日 2021.01.29 (21)申请号 202011378520.8 (22)申请日 2020.12.01 (71)申请人 之江实验室 地址 3

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