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- 2023-07-29 发布于四川
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本发明的各个实施例针对图像传感器，该图像传感器包括设置在衬底内的多个光电探测器。衬底包括与背侧表面相对的前侧表面。外部隔离结构设置在衬底中并且横向围绕多个光电探测器。外部隔离结构具有第一高度。内部隔离结构在外部隔离结构的侧壁之间间隔开。内部隔离结构设置在多个光电探测器中的相邻的光电探测器之间。外部隔离结构与内部隔离结构分别从背侧表面朝着前侧表面延伸。内部隔离结构包括小于第一高度的第二高度。根据本发明的其他实施例，还提供了用于形成图像传感器的方法。
(19)国家知识产权局
(12)发明专利申请
(10)申请公布号 CN 116504796 A
(43)申请公布日 2023.07.28
(21)申请号 202210955856.9
(22)申请日 2022.08.10
(30)优先权数据
63/325,254 2022
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