介质阻挡放电多针-同轴电极的参数匹配研究.docxVIP

介质阻挡放电多针-同轴电极的参数匹配研究 近20年来，通过气体放电产生的低温垂直电压越来越被广泛使用。介质阻挡放电(dielectric barrier discharge,DBD)能够在大气压(104～106Pa)和很宽的频率范围(50～106Hz)内产生大体积、高能量密度的低温等离子体,可应用于材料表面改性、环境保护、医学和等离子体显示器等工业领域。 由于DBD无需昂贵的真空设备,具有比较广阔的应用前景,因此研究DBD放电特性是很有意义的。驱动电源和反应器的类型对DBD放电特性有大的影响,目前驱动电源有工频交流电源、高频交流电源和脉冲电源等;反应器电极结构有同轴、板-板、针-板、锥齿形-平板等,并可以进一步根据是否在放电间隙添加填料加以区分;阻挡介质材料有石英、Al2O3和环氧和聚四氟乙烯(PTFE)等;电极材料有铜、不锈钢、钨等。它们有各自的优缺点,适用不同的实用场合。 从等离子体化学的角度考虑,DBD放电空间所发生的等离子体化学反应的效率是由微放电通道内的电荷传输量决定的。在大气压条件下,DBD间隙内的气体放电由许多随机分布的微放电构成,其放电过程同时也是电荷传输的过程,一般说来放电空间的微放电通道越多,传输的电荷也越多,通道内等离子体的化学反应也越充分。因此研究使DBD传输电荷最优的电极结构与电源参数对提高工业应用中DBD等离子体化学反应效率有重要意义。 笔者对一种多针-同轴电极结构研究表明,该电极能显著降低反应器的起始放电电压,提高周期传输电荷量,且针间距越小,周期传输电荷量越大。在之前的研究基础上,笔者采用正交设计结合Lissajous图形,针对多针-同轴电极结构,以周期传输电荷量为目标因素,以高频电源的电压幅值和频率、针长度(NL)和相邻针的夹角(INRA)为正交试验因素,试验研究了传输电荷最大的电极结构与电源参数的配合,为实际应用中DBD等离子体反应器的优化提供参考。 1 试验设备和试验方法 1.1 电源放电系统 笔者所用DBD是在实验室敞开的空气环境下产生的,试验时温度为28℃,所建立的试验装置电气接线如图1所示。电源的激励频率可以在16～30kHz内连续可调,电压幅值在0～20kV的范围内连续调节。电源电压波形由高压探头P6015A采集,衰减比1 000。放电空间传输的电荷通过在放电回路串联一个2 000pF的电容Cm间接获得。试验用示波器型号为Tektronix DPO4054。 DBD反应器的主体是一根圆柱形的石英玻璃管,内径16.5mm,外径19.9mm,长300mm。其外壁缠有长200mm的铜皮作为接地电极。石英玻璃管内同轴固定高压多针电极:即在直径5mm的光滑铜棒电极上规律排列直径1mm,针尖角45°的铜针电极,如图2所示。 1.2 高频电源参数对电极结构的影响 与同轴电极相比,多针-同轴电极结构强烈畸变了原来的电场分布,使空间呈现极不均匀电场分布,具有起始放电电压和运行电压低,放电功率大,周期传输电荷量大等优点。 1)前期研究结果表明,光滑铜棒上间隔排列3.5 mm和2 mm的长短针,在相同的激励电压下,周期传输电荷量在针间距5 mm时最大,10 mm次之,15 mm最小。本试验考察当针间距为2.5 mm时,多针-同轴电极结构与高频电源参数的配合。 2)与光滑圆棒相比,多针-同轴电极的针能提供极不均匀电场,在较低电压时首先产生电晕放电,随着电压的逐渐升高,发展过渡为丝光放电。为明确针长度和相邻针电极的旋转角度是否有助于低温等离子体快速地充满整个反应器,笔者安排了针长度分别为(3.5+3.5)mm、(3.5+2)mm、(2+2)mm的电极阵列,以及0°和45°两种纵向相邻针电极的相对角度进行试验。电极阵列结构如图2所示。 3)试验电源频率为16～30 kHz连续可调,正交试验安排的频率水平分别为:17、21、25、29 kHz。首先在4个频率下分别对每种电极结构试验,观察它们的起始放电电压幅值和电流过零处电压幅值。结果表明,它们当电压幅值Up≥2～2.94 kV就陆续开始放电;当外加电压幅值Up升高至5～7.56 kV时,分别出现电流过零特性,放电剧烈。因此,笔者将正交试验的电压水平确定为:4.5、6、7.5、9 kV。 正交试验的因素水平设计如表1所示。 1.3 lissajus的工作特性 DBD反应器的负载特性呈容性,其放电过程可以等效为电容器的充放电过程。 反应器的电极和地之间串联一个测量电容Cm(图1),用以测量放电传输的电荷量Qm。适当地选取Cm的值,使得Cm远大于DBD反应器的总电容Ctot(介质Cd和气隙Cg的串联电容值),则可认为Cm的引入对放电不产生影响。 当放电发生时,Cm两端的电压Um正比于放电空间传输的电荷量Qm。将图1中高压探头测得的电源电压和Um分别加在示波器的y-