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差分式电容微传感器噪声分析与设计 1 动态识别器的结构 该微机械电容仪具有强度低、灵敏度高、可靠性和稳定性好等优点。它们都需配以高分辨率的读出电路,对这些读出电路的研究已成为一个重要课题,国内外已作了大量研究,并提出了各种各样的电路结构。例如,ADI公司1993年推出的ADXL05就是利用调制-解调结构来进行信号读出;有报道采用PLL结构;有报道采用双相关采样技术来改善电路性能。总之,它们都有较好的测量结果,但缺点是电路过于复杂,或者不易集成。 本文采用的是基于开关电容技术的读出电路。这种电路的优点是结构简单、温度系数小、噪声低、对寄生电容也不敏感,不仅可实现与数字控制电路的集成,还容易实现与微传感器的系统集成。该电路主要适用于对差分结构的电容式传感器进行检测,同时,对单端电容式传感器也是兼容的。 2 工作原则 2.1 电容c和c2 电容式微传感器的一种——梳状电容加速度计的结构如图1右侧所示,其中,上下是固定极板,中间是可动的质量块。整个结构可以等效成图1左侧的两个可变电容C1和C2。当结构在外来加速度的作用下,引起质量块在加速度方向的摆动,从而使两个可变电容的电容量分别发生变化。检测这两个电容的容值的差分变化,就可以测量出加速度的大小。 C1和C2与加速度a之间有如下线性关系: C1-C2C1+C2=ka(1)C1?C2C1+C2=ka(1) 式中,k为常数,它与结构所用材料的力学性质和尺寸有关。在梳状结构中,当质量块上下运动时,(C1+C2)近似不变,电路着重于对(C1-C2)的测量。 2.2 采样/保持电路 读出电路的结构示意图如图2所示。 图中,V2P25=2.25 V,为直流偏置电压;C1、C2的输入端分别是相位相反、幅度相等(均为2.25 V)的时钟信号Φ1、Φ2;Φ3与Φ2同频同相,但其高电平为5 V。 当Φ1为低电平,SW1闭合,有: VO1=2.25 V (2) 此时,采样/保持电路进行保持; 当Φ1为高电平,Φ2、Φ3为低电平,SW1断开: Vo1=V2Ρ25(C1-C2)CF(3)Vo1=V2P25(C1?C2)CF(3) 此时,采样/保持电路进行采样。 采样/保持电路的输出信号VO2经过连续时间滤波器和增益为2的输出缓冲器,就得到了反映(C1-C2)变化的连续时间信号VO,有: VΟ=2V2Ρ25(C1-C2)CF+V2Ρ25(4)VO=2V2P25(C1?C2)CF+V2P25(4) 由(4)式可以看出,测量灵敏度|dVO/dΔC|与CF成反比关系。又为了适应不同范围的ΔC测量,将CF设计成可微调结构,如图3所示。 图3中,开关CSW0～CSW9由数字信号CF～CF控制,单位电容Cu=0.02 pF。当CF～CF取0～1023时,CF可实现从0到20.46 pF的1024种选择。 需要指出的是,在输出噪声Vno(rms)一定的情况下,可以通过微调减小CF,降低最小输入可分辨电容变化,提高分辨率。 2.3 选择低噪声单元的方法,保证输出噪声在合理范围内混叠 由于总电路的噪声主要由前置放大器OP1和采样/保持电路产生,为简化起见,以下的分析只针对这两部分电路。 如图4所示,设输入电容变化为零,输入端仅有OP1输入噪声的均方电压V2nΙ2nI(rms)(及直流偏置V2P25),认为开关SW1在闭合时其等效电阻为零。 OP1的低频开环增益为A1,3dB带宽为BW1,输入噪声的功率谱密度为V2nI(f),设其不随频率而变化。T为采样信号Φ3的周期,fs是采样频率,τ是采样信号的占空比。 Φ3为低电平时,SW1断开,采样(ON): V2no(rms)|ΟΝ=V2nΙ(f)?A21?π2BW1=A21π2BW1?V2nΙ(f)(5)V2no(f)|ΟΝ=A21?V2nΙ(f)(6)V2no(rms)|ON=V2nI(f)?A21?π2BW1=A21π2BW1?V2nI(f)(5)V2no(f)|ON=A21?V2nI(f)(6) 式中,V2no2no(rms)为输出噪声的均方电压;V2no2no(f)是输出噪声功率谱密度。 Φ3为高电平时,SW1闭合,保持(OFF),这时分两种情况考虑: 情况1:(π2BW1)＞fs2(π2BW1)＞fs2时,噪声在0＜f＜fs20＜f＜fs2区间发生混叠,这时有: V2no(f)|ΟFF≈2Τ2(π2BW1fs)[τΤsinc(πτffs)]V2no(f)|ΟΝ2(7) 对于f?fs,有sinc(x)=sinxx≈1,将(6)式代入(7)式,有: V2no(f)|ΟFF=πA21τ2BW12fsV2nΙ(f)(8)Vno(rms)|ΟFF=√V2no(f)|ΟFF?2BW1?π2=πA1τBW1(12fs)1/2VnΙ(f)(9)Vno(rms)=√V2no(rms