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Word 用于光通信的微电子机械系统技术进展论文 1.近十几年进展起来的微电子机械系统适的制造手段。基于微 电子机械系统技术的光器件有以下显著优点： 1)技术性能好。如德克萨斯仪器公司研制的数字微镜器件，开 关速度高达1〇^s,比传统机械开关快两个量级，损耗小于3dB,经过 热冲击、温度循环、机械冲击等试验证明器件工作稳定，寿命可达 10万小时(12年)以上由于是通过微小机械部件的运动来实现开关功 能，因此所需功耗特别小，只需5V 电压供电Bell试验室研制的使用 微平面镜的K16线阵开关ATT研制的用于光交叉连接的88光开关也 都具有特别优越的性能指标 2)集成度高。由于采纳集成制造工艺，光器件尺寸很小，这对 于光交叉连接使用的光开关阵列特别必要,如采纳传统机械开关制作， 当N较大时，其体积将是很浩大的使用微电子机械系统技术可以很好 地解决这个问题,德克萨斯仪器公司研制的微镜800600光开关，其芯 片尺寸只有1cmX1.5cm而且简单实现与微透镜及单模光纤间的耦合， 还可以与掌握电路集成。 3)本钱低基于微电子机械系统技术的光器件由于采纳集成制 造工艺，在工艺定型后，可以大批量生产,其本