压电式传感器课件.pptxVIP

压电式传感器 6.1 压电效应及压电材料 某些电介质，当沿着一定方向对其施力而使它变形时，内部就产生极化现象，同时在它的两个表面上便产生符号相反的电荷， 当外力去掉后，又重新恢复到不带电状态。这种现象称压电效应。 当作用力方向改变时，电荷的极性也随之改变。有时人们把这种机械能转换为电能的现象， 称为“正压电效应”。 相反，当在电介质极化方向施加电场，这些电介质也会产生几何变形，这种现象称为“逆压电效应”（电致伸缩效应）。具有压电效应的材料称为压电材料，压电材料能实现机—电能量的相互转换，如图6 - 1所示。 ? 图6-1 压电效应可逆性 在自然界中大多数晶体都具有压电效应，但压电效应十分微弱。随着对材料的深入研究，发现石英晶体、钛酸钡、锆钛酸铅等材料是性能优良的压电材料。  压电材料可以分为两大类：压电晶体和压电陶瓷。  6.1.1 石英晶体 石英晶体化学式为SiO2，是单晶体结构。图6-2（a）表示了天然结构的石英晶体外形，它是一个正六面体。石英晶体各个方向的特性是不同的。 其中纵向轴z称为光轴，经过六面体棱线并垂直于光轴的x称为电轴，与x和z轴同时垂直的轴y称为机械轴。 通常把沿电轴x方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“纵向压电效应”， 而把沿机械轴y方向的力作用下产生电荷的压电效应称为“横向压电效应”。 而沿光轴z方向的力作用时不产生压电效应。 图6-2 石英晶体(a) 晶体外形； (b) 切割方向； (c) 晶片 图6-3 石英晶体压电模型(a) 不受力时； (b) x轴方向受力； (c) y轴方向受力 6.1.2 压电陶瓷 压电陶瓷是人工制造的多晶体压电材料。材料内部的晶粒有许多自发极化的电畴，它有一定的极化方向，从而存在电场。 在无外电场作用时，电畴在晶体中杂乱分布，它们各自的极化效应被相互抵消，压电陶瓷内极化强度为零。因此原始的压电陶瓷呈中性，不具有压电性质, 如图6-4（a）所示。  图6-4 压电陶瓷的极化 (a) 未极化 在陶瓷上施加外电场时，电畴的极化方向发生转动，趋向于按外电场方向的排列，从而使材料得到极化。外电场愈强， 就有更多的电畴更完全地转向外电场方向。让外电场强度大到使材料的极化达到饱和的程度，即所有电畴极化方向都整齐地与外电场方向一致时，当外电场去掉后，电畴的极化方向发生改变，即剩余极化强度很大，这时的材料才具有压电特性, 如图6-4（b）所示。 图6-4 压电陶瓷的极化 (b) 电极化 6.1.3 压电式传感器 压电式传感器的基本原理就是利用压电材料的压电效应这个特性，即当有力作用在压电材料上时，传感器就有电荷（或电压）输出。  由于外力作用而在压电材料上产生的电荷只有在无泄漏的情况下才能保存，即需要测量回路具有无限大的输入阻抗，这实际上是不可能的， 因此压电式传感器不能用于静态测量。压电材料在交变力的作用下，电荷可以不断补充，以供给测量回路一定的电流，故适用于动态测量。 图6-5 压电元件连接方式(a) 相同极性端粘结； (b) 不同极性端粘结 单片压电元件产生的电荷量甚微，为了提高压电传感器的输出灵敏度， 在实际应用中常采用两片（或两片以上）同型号的压电元件粘结在一起。 压电元件的并联和串联 并联方法两片压电晶片的负电荷集中在中间电极上，正电荷集中在两侧的电极上，传感器的电容量大、输出电荷量大、时间常数也大，故这种传感器适用于测量缓变信号及电荷量输出信号。+ 并联- ▲ 宜用作电荷输出 并接时输出电荷q= q1+q2 。故q较大 ▲宜用作测低频缓变信号 并接时等效电容c=c1+c2 τ=R（c1+c2） 电荷灵敏度提高注意并联的接法构成RC 串联方法正电荷集中于上极板，负电荷集中于下极板，传感器本身的电容量小、响应快、输出电压大，故这种传感器适用于测量以电压作输出的信号和频率较高的信号。 + 串联 宜用作电压输出 串接时输出电压e=e1+e2 ，故e较大 宜用作测高频信号 串接时等效电容 注意串联的接法电压灵敏度提高_ 图6-6 压电元件变形方式(a) 厚度变形(TE); (b) 长度变形(LE)； (c) 体积变形(VE)； (d) 面切变形(FS)； (e) 剪切变形(TS) 6.2 压电式传感器测量电路 6.2.1 压电式传感器的等效电路 由压电元件的工作原理可知，压电式传感器可以看作一个电荷发生器。同时，它也是一个电容器， 晶体上聚集正负电荷的两表面相当于电容的