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非晶态合金材料压磁式测力传感器的研制 压磁式测量仪具有输出大、干扰强、拆卸性能好、结构和电路简单等优点。在恶劣环境下工作和长寿的优点。目前压磁式测力传感器所采用的压磁材料主要是硅钢片与坡莫合金, 但不足之处是测量精度不高、反应速度低。非晶态合金在电磁特性、机械强度、压磁效应等方面较晶态合金优良, 尤其是它的软磁性更为突出。利用非晶态合金作为压磁材料, 能够提高压磁式测力传感器的测量精度和灵敏度。 1 相对磁导率变化规律 所谓压磁效应是指当磁场中的铁磁材料受到机械力的作用时, 在它的内部产生应变, 产生应力σ, 导致磁导率μ发生变化。磁导率的变化将导致线圈间耦合系数的变化, 使输出电势发生变化。从而就可以根据输出的电势量值来衡量外作用力。 传感器采用门字形冲片叠合而成, 如图1所示。为了消除粘合对传感器性能的影响并简化制作过程, 冲片之间并未粘合, 而是在两侧用特制夹板夹紧, 只在传感器整个侧面用胶固化。励磁绕组N1和测量绕组N2分别绕在铁芯两侧的柱体上, 磁力线沿abcd路径闭合。根据压磁效应, 在外力P作用下, 沿ab和dc方向难以磁化, 即磁导率下降, 使测量线圈中的感应电动势发生变化,P值越大, 感应电动势变化也越大。 压磁材料的相对磁导率变化与机械应力σ之间有如下的关系: Δμμ=2λSB2Sσμ(1)Δμμ=2λSB2Sσμ(1) 式中:σ为机械应力;μ为压磁材料的磁导率;λS为压磁材料的饱和磁致伸缩系数;BS为压磁材料的饱和磁感应强度。 从式 (1) 可知, 压磁材料要求饱和磁致伸缩系数λS大、磁导率μ大和饱和磁感应强度BS小。目前采用较多的压磁材料是坡莫合金与硅钢片。由于坡莫合金价格昂贵, 所以使用较多的是冷轧硅钢片。近年来, 非晶态合金在传感器技术中应用的越来越广泛。表1所示三种软磁合金的磁性能参数。 从表1可以看出, Fe基非晶态合金的软磁特性比较突出, 更适合作为压磁材料。压磁效应实质上是铁磁材料内磁系统和机系统的转换。转换效率高, 传感器的灵敏度就高。Fe基非晶态合金大多具有很高的机电转换效率, 经过适当的退火处理, 转换效率还可进一步提高。由于制造工艺的不同, 非晶态合金有更均匀的组织结构, 不存在阻碍畴壁运动的晶界或析出物, 因此可望获得比晶态更高的磁导率μ和更小的矫顽力Hc。另外, 非晶态合金低磁滞和高电阻率的特性可大幅度减少铁芯损耗以及允许更高的励磁频率, 有利于提高传感器的灵敏度、线性度以及动态响应速度。除此之外, 非晶态合金没有类似硅钢因轧制方向的不同, 对传感器性能产生影响。 2 测量圈磁能、压磁效应 传感器的磁路分析如图1所示。当励磁线圈N1通入具有一定频率的交流电I时, 便在励磁线圈中产生了交变磁通?。根据磁路定律, 磁路中的瞬时磁通为: ?=e1Rab+Rbc+Rcd+Rda=√2Ν1Ι1sin2πf2labμabsab+2lbcμbcsbc(2)?=e1Rab+Rbc+Rcd+Rda=2√N1I1sin2πf2labμabsab+2lbcμbcsbc(2) 式中:e1为磁动势;I1为励磁电流强度;N1为励磁线圈匝数;f为励磁电流的频率;t为时间;Rab、 Rbc、 Rcd、 Rda分别为封闭磁路中各段磁阻;lab、lbc、lcd、lda分别为封闭磁路中相应各段长度, 其中lab=lcd, lbc=lda;sab、sbc、scd、sda分别为封闭磁路中相应各段截面积其中sbc=sda, scd= sab;μab、μbc、μcd、μda分别为封闭磁路中相应各段的磁导率, 当传感器未受载荷作用时, 各段磁导率相等。 根据压磁效应, μab与μcd将减小。所以测量线圈中的瞬时电动势为 e2=-Ν2dφdt=-Ν2ddt(i1Ν12lbcμbcsbc+2labμabsab)==Κ1Κ2cos(ωt+?)(3)e2=?N2dφdt=?N2ddt(i1N12lbcμbcsbc+2labμabsab)==K1K2cos(ωt+?)(3) 式中:e2为测量线圈瞬时电动势;N2为测量线圈匝数;φ为测量线圈瞬时磁通。而K1、K2、?分别为: Κ1=√2Ι1Ν1Ν2ωlbcμbcsbc+labμabsabΚ2=√1+(2labμ2absabdμabdtω(lbcμbcsbc+labμabsab))2=√a2+b2?=arctanabK1=2√I1N1N2ωlbcμbcsbc+labμabsabK2=1+??2labμ2absabdμabdtω(lbcμbcsbc+labμabsab)??2??????????????????ue001?ue000ue000ue000=a2+b2??????√?=arctanab 此处,a=1,b=2labμ2absabdμabdtω(lbcμbcsbc+labμabsab