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氧化锌空心球气敏元件的制备与性能研究 zno是第一个气敏材料之一。已经证明它对co、h2、l2s、nh3、b2h5oh等有很强的敏感性。材料的气敏性质与其表面状态和形貌有关,空心球的纳米结构的球壳及内部空心结构使其具有大的比表面积,是制备高灵敏度气体传感器的潜在材料。 目前,用于制备空心球的方法很多,而模板法作为一种最常用的制备方法被广泛应用于各种材料的空心球的制备中,所用模板包括聚苯乙烯乳胶粒、液晶、表面活性剂胶囊、胶团、小液滴等。近来,粒径在纳米级乃至微米级的金属氧化物空心球如SiO2、TiO2和SnO2等被报道。本方法采用新制的碳微米球为模板制备了ZnO空心球并制作了厚膜传感器元件,对6种气体进行了气敏性能测试,发现ZnO空心球材料对C2H5OH、(C2H5)3N和H2S气体有很高的灵敏度,尤其是对(C2H5)3N的检测达到ppb(10-9)级。 1 实验部分 1.1 反应罐 葡萄糖(C6H12O6·H2O),A.R.;硝酸锌(Zn(NO3)2·6H2O),A.R.;氢氧化钠(NaOH),A.R.;无水乙醇(C2H5OH),A.R.;N,N-二甲基甲酰胺(HCON(CH3)2,DMF),A.R.。聚四氟乙烯内衬的不锈钢反应釜;恒温磁力搅拌器,JB-2型;数显电热恒温干燥箱,101-1S型;超声波清洗器,KQ-250型。 1.2 碳球-dmf法 碳球的制备如下:3g葡萄糖溶于30mL去离子水中配制成0.5mol·L-1的溶液。将溶液转移至聚四氟乙烯内衬的反应釜中密封,在160℃下保温3~6h,然后冷却至室温。将产物抽虑、用去离子水和无水乙醇洗涤多次,于70℃的烘箱中干燥12h后得新制的碳球。 以碳球为模板制备ZnO空心球。0.25mmol的Zn(NO3)2·6H2O溶于5mL DMF(N,N-二甲基甲酰胺)中,形成0.05L/mol的溶液。约0.12g的新制碳球加入到25mL的DMF中并超声分散。将Zn(NO3)2的DMF溶液以1滴/20s的速度缓慢加入25mL的碳球-DMF中,整个过程在超声条件下进行。Zn(NO3)2溶液滴加结束后,再超声30min,然后逐滴加入约1mL 0.5mol·L-1NaOH溶液。继续超声1h,将混合溶液在室温下陈化1d。将沉淀抽滤、洗涤、干燥,获得的前驱物放入坩锅置于马弗炉中,在500℃灼烧2h后自然冷却至室温,得白色粉末样品。 1.3 x-射线衍射分析 采用日本Rigaku公司生产的D/max2200型粉末X射线衍射仪(Cu靶Ka(λ=0.154nm)对所制备的样品进行相分析;使用JSM-6330型场发射扫描电子显微镜对样品进行形貌观察。 1.4 气敏元件的工作原理 气敏元件的制作按照传统的半导体旁热式气敏元件制作工艺进行。将制备的粉体与适量松油醇混合后均匀地涂抹在Al2O3陶瓷管外。该陶瓷管长8.0mm,内径约1.6mm,外径约2.0mm,管的两端分别涂有一圈金电极,其上固定两根铂丝。镍–铬合金丝作为加热丝插入陶瓷管,通过调节加热丝的电压来调整气敏元件的工作温度。将做好的元件在500℃烧结2h后,在0.75W加热功率下于老化台上老化10d。 采用静态配气法,利用郑州炜盛电子科技有限公司生产的WS-30A气敏元件测试系统测试气敏元件的气敏性能。在还原性气氛中,定义元件的灵敏度S=Ra/Rg,在氧化性气氛中,灵敏度S=Rg/Ra,式中,Ra和Rg分别为元件在空气中和被测气体中的电阻值。 2 结果与讨论 2.1 氧化铝的xrd分析 葡萄糖水溶液160℃水热反应3h和6h,制备出两种不同尺寸的碳球。利用两种条件下的新制碳球制备出氧化锌样品:以3h碳球为模板制备的样品称为Z1,以6h碳球为模板制备的样品称为Z2。图1为两种氧化锌样品的XRD衍射图。从XRD图谱中可知,Z1、Z2均为六方晶系ZnO,晶胞参数α=3.25ue6a6,c=5.207ue6a6,与JCPDS卡片36-1451一致,且没有其他杂质峰,表明产物均为纯的氧化锌。根据Scherrer公式可算出样品Z1的平均晶粒度为20.2nm,Z2的平均晶粒度为23.6nm。 2.2 水热反应碳球的扫描电镜 图2为新制碳球和氧化锌样品的扫描电镜图。图2(a)为160℃葡萄糖水溶液水热反应3h制得的碳球的扫描电镜图,相应ZnO样品-Z1的扫描电镜图为图2(c);图2(b)为160℃葡萄糖水溶液水热反应6h制得的碳球的扫描电镜图,相应ZnO样品-Z2的扫描电镜图为图2(d)。从图2可看出,随着水热反应时间的增加,碳球的直径增大。水热反应3h时得到大量团聚的碳球,用此碳球做模板制备的ZnO样品为直径约200~500nm的微米球,且微球的表面附着大量粒子,许多微球的表面还可观察到凹陷。水热反应6h可制得直径约1~3μm的碳球,相应制得的ZnO样品为直径约