《扩散炉能源消耗规范》.docx

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SJFORMTEXT中华人民共和国工业和信息化部???发布202X-XX-XX实施202X-XX-XX发布扩散炉能源消耗规范Specificationforenergy

SJ

FORMTEXT中华人民共和国工业和信息化部???发布

202X-XX-XX实施

202X-XX-XX发布

扩散炉能源消耗规范

Specificationforenergyconsumptionnormofdiffusionfurnace

SJ/T11451-20XX

中华人民共和国电子行业标准

ICSFORMTEXT31-550

FORMTEXTL01

备案号：

SJ/TXXXXX—20XX

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SJ/TXXXXX-202X

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扩散炉能源消耗规范

范围

本标准规定了扩散炉能源消耗指标、计算原则、计算方法和评价原则。

本标准适用于电子行业各企业元器件生产运行中的工作温度在400℃～1350℃的扩散/氧化、退火、合金工艺使用的扩散炉。

规范性引用文件

下列文件对于本文件的应用是必不可少的。凡是注日期的引用文件，仅注日期的版本适用于本文件。凡是不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本文件。

GB/T2587用能设备能量平衡通则

GB/T3484企业能量平衡通则

GB/T12723单位产品能源消耗限额编制通则

GB17167用能单位能源计量器具配备和管理通则

能源消耗指标计算原则

扩散炉能源消耗指标是以扩散炉作为一个用能体系、以合格产品单位产量为核算单元的可比单耗。

扩散炉可比单耗是生产每千克合格产品产量实耗的电能量。

实耗电能量是系统直接消耗的电能量和使用的耗能工质间接消耗的电能量之和。

扩散炉能源消耗所考察的合格产品的折合产量，无论是最终产品、中间产品，还是初级产品，均以单位产品产量为核算单元。为了便于对不同的产品的能耗水平进行比较，对工艺温度不同的产品规定了不同的产品产量可比折算系数（简称：产品折算系数）。

扩散炉可比单耗可按统计期进行统计计算，也可按生产周期进行现场测算；其数据的取值应符合GB/T2587、GB/T3484、GB/T12723的规定；使用的能源计量器具应符合GB17167的要求。

能源消耗等级指标

扩散炉能源消耗等级指标应符合表1的规定。

表1扩散炉能源消耗等级指标

可比单耗bk

kW·h/kg

一级

二级

bk≤6.0

6.0bk≤12.0

可比单耗计算方法

扩散炉的可比单耗按公式（1）计算：

………………（1）

式中:

bk——可比单耗，单位为千瓦时每千克（kW·h/kg）；

E——统计期内扩散炉实耗电能量,单位为千瓦时（kW·h），计算方法见公式（2）；

mz——统计期内该扩散炉合格产品的折合产量，单位为千克（kg），计算方法见公式（6）。

实耗电能量（E）按公式（2）计算：

E=E1+E2+E3+E4………………（2）

式中：

E1——系统(包括控制装置)消耗电能量，单位为千瓦时(kW·h)；

E2——冷却水折合电能量,单位为千瓦时（kW·h），计算方法见公式（3）；

E3——氧气折合电能量,单位为千瓦时（kW·h），计算方法见公式（4）；

E4——氮气折合电能量,单位为千瓦时（kW·h），计算方法见公式（5）。

冷却水折合电能量（E2）按公式（3）计算：

E2=β2·N2………………（3）

式中：

β2——冷却水折电系数,单位为千瓦时每吨（kW·h/t），当使用自来水时β2=0.6364，当使用循环水时其折电系数按每吨水的耗电量计算；

N2——冷却水消耗量,单位为吨（t）。

氧气折合电能量（E3）按公式（4）计算：

E3=β3·N3………………（4）

式中：

β3——氧气折电系数,单位为千瓦时每立方米（kW·h/m3），β3=1.26；

N3——氧气消耗量(标态),单位为立方米（m3）。

注：标态系标准状态的简称，指的是温度为0℃、压力为101325Pa时的状态。

氮气折合电能量（E4）按公式（5）计算：

E4=β4·N4………………（5）

式中：

β4——氮气（高纯氮）折电系