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功率器件技术方面未来发展趋势分析
一、技术方面未来发展趋势
随着经济发展和技术进步,终端应用对品质要求越来越高,高性
能、高可靠性一直以来功率器件产品的发展趋势。功率器件性能包
括过流能力(耐正向电流冲击能力和耐反向电流冲击能力)和耐压能
力(耐反向击穿电压能力);高性能决定于芯片设计方案,即PN结构
本身,包括单晶硅片的电阻率及厚度、芯片面积、扩散掺杂的浓度梯
度等重要因素。功率器件可靠性包括耐高温反偏能力、耐热疲劳能力
等;高可靠性决定于晶圆制造工
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