湿电子化学品 再生光阻洗净液.pdf

湿电子化学品再生光阻洗净液

1范围

本文件规定了再生光阻洗净液的技术要求、试验方法、检验规则及标志、包装、运输和贮存。

本文件适用于以湿电子化学品行业含光阻洗净液回收液为原料，经过提纯的光阻洗净液再生产品

(以下简称产品），主要用于显示面板制造行业等。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB190危险货物包装标志

GB/T601化学试剂标准滴定溶液的制备

GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备

GB/T603化学试剂试验方法中所用制剂及制品的制备

GB/T3143液体化学产品颜色测定法(Hazen单位-铂-钴色号)

GB/T4945石油产品和润滑剂酸值和碱值测定法(颜色指示剂法)

GB/T6283化工产品中水分含量的测定卡尔.费休法（通用方法）

GB/T6324.2有机化工产品试验方法第2部分：挥发性有机液体水浴上蒸发后干残渣的测定

GB/T6678化工产品采样总则

GB/T6680液体化工产品采样通则

GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T9722化学试剂气相色谱法通则

GB15603危险化学品仓库储存通则

SJ/T11637电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

湿电子化学品wetchemicals

湿电子化学品又称超净高纯电子化学品，是微电子、光电子湿法工艺（主要包括湿法刻蚀、清洗、

显影、剥离等环节）中使用的各种液体化工材料。

3.2

光阻洗净液Lightblockingcleaningsolution

1

光阻去除液、清洗剂，主要成分丙二醇甲醚（PM）和丙二醇甲醚醋酸酯（PMA）。

3.3

回收液liquidrecycling

主要含主要丙二醇甲醚和丙二醇甲醚醋酸酯，以及少量其它有机溶剂、光刻胶、水、金属离子等。

4技术要求

产品的技术指标应符合表1的要求。

表1技术指标

项目指标

外观无色透明液体

有效成分w/%≥99.5

丙二醇甲醚（PM）w%75.0±15.0

丙二醇甲醚醋酸酯（PMA）w%25.0±15.0

水分(wt)/%≤0.1

色度Hazen单位（铂-钴色号）10

酸值(以乙酸计)w/%0.05

蒸发残渣≤0.03%

铝（Al）μg/kg≤10

金（Au）μg/kg