湿电子化学品 再生铝蚀刻液.pdf

湿电子化学品再生铝蚀刻液

1范围

本文件规定了再生铝蚀刻液的技术要求、试验方法、检验规则和标志、包装、运输、贮存。

本文件适用于以湿电子化学品行业含铝蚀刻液回收液为原料，经过提纯的铝蚀刻液再生产品(以下

简称产品），主要用于显示面板制造行业等。

2规范性引用文件

下列文件中的内容通过文中的规范性引用而构成本文件必不可少的条款。其中，注日期的引用文件，

仅该日期对应的版本适用于本文件；不注日期的引用文件，其最新版本（包括所有的修改单）适用于本

文件。

GB190危险货物包装标志

GB/T601化学试剂标准滴定溶液配制

GB/T602化学试剂杂质测定用标准溶液的制备

GB/T603化学试剂试验方法中所使用制剂及制品的制备

GB/T6678化工产品采样总则

GB/T6680液体化工产品采样通则

GB/T6682分析实验室用水规格和试验方法

GB/T8170数值修约规则与极限数值的表示和判定

GB/T9728化学试剂硫酸盐测定通用方法

GB/T9729化学试剂氯化物测定通用方法

GB15603危险化学品仓库储存通则

SJ/T11510液晶显示器用铝腐蚀液

SJ/T11637电子化学品电感耦合等离子体质谱法通则

3术语和定义

下列术语和定义适用于本文件。

3.1

湿电子化学品wetchemicals

湿电子化学品又称超净高纯电子化学品，是微电子、光电子湿法工艺（主要包括湿法刻蚀、清洗、

显影、剥离等环节）中使用的各种液体化工材料。

3.2

铝蚀刻液aluminumetch

是指一种利用酸类腐蚀剂刻蚀铝及铝合金金属表面的液体材料，主要成分包括磷酸、硝酸、醋酸、

水等。

1

3.3

回收液liquidrecycling

主要成分是磷酸﹑硝酸、醋酸、水及少量的金属杂质等。

4技术要求

产品技术要求应符合表1的规定：

表1技术要求

项目指标

外观无色透明粘稠状液体

磷酸w%60.0±20.0

醋酸w%12.0±8.0

硝酸w%7.0±5.0

颗粒(≥0.5um)pcs/mL≤100

颗粒(≥1um)pcs/mL≤10

氯化物(Cl)mg/kg≤5

硫酸盐(SO)mg/kg≤5

4

锂（Li）μg/kg200

钠（Na）μg/kg200

钙（Ca）μg/kg500