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粘滑式惯性压电驱动器控制方法研究.pdf

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    摘要

    摘要

    粘滑式惯性压电驱动器具有大行程、高精度和响应速度快等优点，被广泛应用于

    精密制造、生物医学和显微操作等领域，其定位控制技术是实现产业化应用的重要基

    础。本文以粘滑式惯性压电驱动器为研究对象，针对驱动器自身复杂的摩擦运动关系、

    建模不精确以及不确定扰动引起定位控制精度大幅下降的问题，引入基于单神经元的

    自适应PID闭环控制策略，并提出基于扰动估计的无模型自适应控制方案，旨在通过

    优化控制器弥补负面因素对定位控制精度的

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