机械工业行业传感器：人形机器人感知核心，六维力、MEMS传感器具发展潜力.docx

目 录

传感器：智能感知核心 6

六维力传感器：人形机器人核心零部件之一，成本高昂，壁垒较高 7

六维力传感器是机器人实现柔顺化、智能化控制的重要传感器之一 7

六维力传感器具有较高的技术壁垒 10

六维力传感器具有较大的降本空间 11

六维力传感市场规模有望实现高速增长 12

国产厂商入局渐多，产业化应用正落地 13

柯力传感 15

昊志机电 15

东华测试 16

宇立仪器 17

坤维科技 18

蓝点触控 18

MEMS传感器：市场成熟，潜力仍大 19

MEMS市场规模庞大，应用范围广泛 19

MEMS传感器市场成熟且庞大，在人形机器人领域中潜力较大 20

MEMS惯性传感器 21

MEMS压力传感器 23

部分相关公司介绍 24

芯动联科 24

敏芯股份 25

星网宇达 25

康斯特 25

投资建议 26

风险提示 26

图目录

图1 力传感器示意图 7

图2 六维力传感器应用范围 8

图3 六维力传感器工作原理对比 8

图4 六维力传感器内部结构 9

图5 六维力传感器原理 9

图6 应变片贴片及组桥示意图 9

图7 应变片原理图 9

图8 中航电测应变片生产工艺流程 9

图9 六维力传感器形态 10

图10 十字梁式六维力传感器内部结构 10

图11 一维和六维样本空间比较图 11

图12 一维和六维标定设备比较图 11

图13 人工贴片流程 12

图14 全球力矩传感器市场规模 12

图15 2017-2027年中国六维力传感器市场销量及预测 13

图16 2017-2027年中国六维力传感器市场规模及预测 13

图17 六维力传感器在人形机器人上的应用 13

图18 优必选WakerX采用六维力传感器 13

图19 2023年中国六维力传感器厂商营收排名 14

图20 2023年国内六维力传感器厂家市场份额排名 14

图21 柯力传感多物理传感器矩阵产品 15

图22 东华测试产品矩阵 17

图23 宇立仪器六维力传感器产品 18

图24 宇立仪器合作伙伴 18

图25 坤维科技核心产品 18

图26 坤维科技六维力传感器在人形机器人中的应用 18

图27 蓝点触控核心竞争力 19

图28 蓝点触控合作客户 19

图29 MEMS细分行业市场（2021年） 19

图30 全球MEMS行业市场规模预测（百万美元） 20

图31 中国MEMS市场规模预测 20

图32 MEMS传感器的工作原理 21

图33 2021年MEMS行业产品结构 21

图34 MEMS惯性传感器市场结构（亿美元） 22

图35 MEMS惯性传感器市场结构（亿颗） 22

图36 2021年MEMS惯性传感器竞争格局 22

图37 MEMS陀螺仪内部结构示意图 23

图38 2021年高性能陀螺仪细分市场情况（百万美元） 23

图39 全球MEMS压力传感器市场规模 24

图40 2020年MEMS压力传感器竞争格局 24

图41 芯动联科陀螺仪产品应用覆盖范围 24

图42 芯动联科加速度计产品应用覆盖范围 24

图43 星网宇达主要产品 25

图44 星网宇达IMU产品 25

表目录

表1 传感器政策梳理 6

表2 六维力传感器主要作用及功能 7

表3 不同类型六维力传感器介绍 8

表4 人形机器人对六维力传感器需求测算 13

表5 国内外六维力传感器主要生产商 14

表6 各家六维力传感器性能指标对比 14

表7 昊志机电六维力传感器产品 16

表8 MEMS器件分类 20

表9 MEMS惯性传感器分类 21

传感器：智能感知核心

感知是人形机器人控制和执行的前提。传感器是一种检测装臵，能感受到被测量的信息，并能将感受到的信息，按一定规律变换成为电信号或其他所需形式的信息输出，

以满足信息的传输、处理、存储、显示、记录和控制等要求，传感器的特点包括微型化、数字化、智能化、多功能化、系统化、网络化。传感器包括力矩传感器、触觉传感器、接近觉传感器、距离觉传感器、光学编码器等。感知层的传感器是连接物理世界和数字世界的纽带，对于实现具身智能具有决定性的作用。在人形机器人中，较为重要的几种传感器有力矩传感器、触觉传感器、IMU、视觉传感器等。本报告主要介绍六维力/力矩传感器（以下简称为“六维力传感器”）和MEMS惯性传感器及压力传感器。

六维力传感器：是一种能够测量物体在六个方向（即三个平移方向和三个旋转方向）上的力和力矩的传感器。在人形机器人中，六维力传感器通常安装在机器人的手腕、手臂、脚等与