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半导体物理与器件(尼曼第四版)答案--第1页
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半导体物理与器件(尼曼第四版)答案
第一章:半导体材料与晶体
1.1半导体材料的基本特性
半导体材料是一种介于导体和绝缘体之间的材料。它的基
本特性包括:
1.带隙:半导体材料的价带与导带之间存在一个禁带
或带隙,是电子在能量上所能占据的禁止区域。
2.拉伸系统:半导体材料的结构是由原子或分子构成
的晶格结构,其中的原子或分子以确定的方式排列。
3.载流子:在半导体中,存在两种载流子,即自由电
子和空穴。自由电子是在导带上的,在外加电场存在的情
况下能够自由移动的电子。空穴是在价带上的,当一个价
带上的电子从该位置离开时,会留下一个类似电子的空位,
空穴可以看作电子离开后的痕迹。
4.掺杂:为了改变半导体材料的导电性能,通常会对
其进行掺杂。掺杂是将少量元素添加到半导体材料中,以
改变载流子浓度和导电性质。
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1.2半导体材料的结构与晶体缺陷
半导体材料的结构包括晶体结构和非晶态结构。晶体结构
是指材料具有有序的周期性排列的结构,而非晶态结构是指无
序排列的结构。
晶体结构的特点包括:
1.晶体结构的基本单位是晶胞,晶胞在三维空间中重
复排列。
2.晶格常数是晶胞边长的倍数,用于描述晶格的大小。
3.晶体结构可分为离子晶体、共价晶体和金属晶体等
不同类型。
晶体结构中可能存在各种晶体缺陷,包括:
1.点缺陷:晶体中原子位置的缺陷,主要包括实际缺
陷和自间隙缺陷两种类型。
2.线缺陷:晶体中存在的晶面上或晶内的线状缺陷,
主要包括位错和脆性断裂两种类型。
3.面缺陷:晶体中存在的晶面上的缺陷,主要包括晶
面位错和穿孔两种类型。
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1.3半导体制备与加工
半导体制备与加工是指将半导体材料制备成具有特定电性
能的器件的过程。它包括晶体生长、掺杂、薄膜制备和微电子
加工等步骤。
晶体生长是将半导体材料从溶液或气相中生长出来的过程。
常用的晶体生长方法包括液相外延法、分子束外延法和气相外
延法等。
掺杂是为了改变半导体材料的导电性能,通常会对其进行
掺杂。常用的掺杂方法包括扩散法、离子注入和分子束外延法
等。
薄膜制备是将半导体材料制备成薄膜的过程。常用的薄膜
制备方法包括物理气相沉积、化学气相沉积和溅射等。
微电子加工是为了制造微电子器件而对半导体材料进行加
工。常用的微电子加工技术包括光刻、腐蚀和薄膜沉积等。
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