T_CCGA 90004—2023(泛半导体用尾气处理设备分解移除效率的测试方法).pdf

ICS13.020.40

CCSE25

CCGA

中国工业气体工业协会团体标准

T/CCGA90004—2023

台

平

息

泛半导体用尾气处理设备分解

信

移除效率的测试方法

准

Protocolformeasuringdestructionorremovalefficiency(DRE)ofpoint-of-use

abatementequipmentinpan-semiconductor

标

体

团

国

全

2023-12-18发布2024-01-18实施

中国工业气体工业协会发布

T/CCGA90004—2023

目次

前言II

台

1范围1

2规范性引用文件1

3术语和定义1

平

4试剂和材料2

5设备与仪器2

6分析步骤4

息

7结果计算与表示5

8质量保证和质量控制5

附录A（资料性）尾气处理设备的分解移除效率（DRE）公式推导和计算方法7

信

附录B（规范性）检测结果记录8

准

标

体

团

国

全

I

T/CCGA90004—2023

前言

本文件按照GB/T1.1—2020《标准化工作导则第1部分：标准化文件的结构和起草规则》的规定

起草。

请注意本文件的某些内容可能涉及专利。本文件的发布机构不承担识别专利的责任。

本文件由中国工业气体工业协会提出并归口。台

本文件起草单位：埃地沃兹贸易（上海）有限公司、上海市计量测试技术研究院、台积电（中国）

有限公司、中国电子气体生产与利用百人会。

本文件主要起草人：朱文心、熊艳玲、刘翔宇、高艳秋、魏王慧、夏威偉