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电子级氧化亚氮国家标准修订立项报告：目的意义、范围与主要技术内容

EnglishTitle

ProjectReportontheRevisionofNationalStandardforElectronicGradeNitrousOxide:Purpose,Significance,ScopeandMainTechnicalContent

摘要

随着集成电路制造工艺的不断进步，特别是12英寸晶圆成为主流，对电子级高纯气体的质量要求日益提高。氧化亚氮作为半导体产业中用量大、纯度要求高的关键电子气体，其现行国家标准GB/T14600-2009已实施近14年，在技术指标、分析方法和适用范围等方面均难以适应当前产业需求。本报告系统阐述了电子级氧化亚氮标准修订的目的与意义，指出其符合《“十四五”推动高质量发展的国家标准体系建设规划》和《重点新材料首批次应用示范指导目录（2019年版）》的战略方向。报告详细说明了标准修订的主要技术内容，包括术语定义、纯度计算、杂质检测方法、包装贮存要求及安全规范等方面的更新。修订后的标准将进一步提升我国电子气体质量水平，增强高端电子材料自主保障能力，推动半导体产业链的高质量发展，为国家集成电路产业战略提供重要支撑。

关键词

电子级氧化亚氮；国家标准修订；高纯电子气体；集成电路材料；半导体产业；杂质检测；特种气体

Electronicgradenitrousoxide;Nationalstandardrevision;High-purityelectronicgas;Integratedcircuitmaterials;Semiconductorindustry;Impuritytesting;Specialtygases

正文

一、目的与意义

电子级氧化亚氮是集成电路制造过程中不可或缺的关键高纯气体材料，具有纯度高、稳定性好、反应性能优异等特点，广泛应用于半导体蚀刻、化学气相沉积等核心工艺环节。随着我国集成电路产业迅猛发展，晶圆制造技术已全面进入12英寸时代，线宽不断缩小，工艺精度要求不断提高，对电子气体的纯度、杂质含量和控制精度提出了更为苛刻的要求。

现行国家标准《电子工业用气体氧化亚氮》（GB/T14600-2009）自发布实施已近14年，其在技术指标、检测方法、适用范围等方面已明显滞后于当前技术发展和产业需求。该标准在杂质检测限、分析方法准确性、包装运输规范等方面存在不足，无法满足先进制程对气体质量的严苛要求。

本次标准修订工作积极响应国家政策导向，符合《“十四五”推动高质量发展的国家标准体系建设规划》中关于制造业高端化领域材料标准建设的要求，同时对接《重点新材料首批次应用示范指导目录（2019年版）》中将电子级氧化亚氮列为“特种气体”的重要定位。通过标准修订，旨在建立更加科学、完善的技术规范体系，为电子级氧化亚氮的生产、检测、质量控制和市场应用提供权威技术依据。

修订后的标准将显著提升我国电子气体产品的质量水平，增强高端电子材料的自主保障能力，推动半导体产业链供应链的安全稳定，同时有利于提高我国高纯电子材料在国际市场上的竞争力和影响力，有效服务于国家集成电路产业发展战略。

二、范围与主要技术内容

本标准规定了电子级氧化亚氮的技术要求、检验规则、试验方法以及标志、包装、运输和贮存等要求，适用于以工业级氧化亚氮为原料经纯化处理制得的电子级氧化亚氮产品。主要修订内容如下：

1.标准名称与范围更新：更改标准名称使其更准确反映标准内容；扩大适用范围，明确适用于12英寸及以下集成电路制造用高纯氧化亚氮产品。

2.规范性引用文件更新：根据当前技术发展现状，更新引用的标准和方法文件，确保标准体系的先进性和协调性。

3.术语和定义补充：新增“电子级氧化亚氮”、“纯度”、“杂质含量”等关键术语的明确定义，避免理解歧义。

4.技术要求提升：大幅提高产品纯度指标，严格限制氧+氩、氮气、一氧化碳、二氧化碳、水分等关键杂质含量的上限值，满足先进制程工艺要求。

5.检测方法优化：

-更新纯度计算方法，采用更科学准确的计算模型

-改进氧+氩、氮、一氧化碳、二氧化碳含量的测定方法，提高检测精度和灵敏度

-新增氢含量的测定方法，完善杂质控制体系

-修订总烃含量的测定方法，采用气相色谱-质谱联用等先进技术

-更新氨、一氧化氮、二氧化氮含量的测定方法，降低检测限

-改进水分含量的测定方法，提高测量准确性和重复性

6.采样与检验规则完善：修订采样要求和检验规则，明确抽样方案、验收规则和判定标准，增强标准的可操作性。

7.包装储运规范更新：更新标志、包装、运输和贮存要求，明确包装容器材质、充装压力、储存条件等关键技术参数，确保产品运输