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电子级惰性稀有气体标准立项的目的意义、范围及主要技术内容分析报告

EnglishTitle

AnalysisReportonthePurpose,Significance,Scope,andMainTechnicalContentoftheStandardizationProjectforElectronicGradeInertRareGases

摘要

随着全球集成电路产业的快速发展，电子级惰性稀有气体作为关键高纯材料，在半导体制造、光刻工艺等高端技术领域具有不可替代的作用。本报告基于行业现状与技术需求，分析了电子级惰性稀有气体标准立项的背景及其对产业发展的战略意义。报告指出，当前氪气、氙气、氖气等气体的国家标准主要适用于航天和电光源等传统工业领域，无法满足集成电路制造中对气体纯度和稳定性的极高要求。俄乌冲突导致全球供应链格局发生变化，中国企业在全球产能中占比显著提升，亟需通过标准制定推动技术升级与质量管控。本报告详细阐述了标准的技术内容，包括气体的技术要求、检验规则、试验方法及包装储运规范，并强调了该标准对保障我国集成电路产业供应链安全、促进新材料领域标准化建设的重要作用。

关键词：电子级惰性稀有气体；集成电路；高纯气体；标准制定；光刻工艺；特种气体

Keywords:ElectronicGradeInertRareGases;IntegratedCircuits;High-PurityGases;Standardization;LithographyProcess;SpecialtyGases

正文

一、立项目的与意义

电子级惰性稀有气体是集成电路制造过程中不可或缺的高纯气体材料，具有极高的化学稳定性和纯度要求，广泛应用于光刻、蚀刻、沉积等关键工艺环节。随着5G、人工智能、物联网等新一代信息技术的迅猛发展，全球对集成电路的需求持续增长，推动电子气体市场规模的快速扩张。目前，电子级惰性稀有气体的年需求量已达上百万吨，且呈现逐年上升趋势。

在国际背景下，乌克兰曾是全球惰性稀有气体的重要供应国，其产量约占全球三分之一。然而，2022年爆发的俄乌战争导致该国气体产量锐减，严重冲击了全球供应链。在这一形势下，中国企业积极推动产业升级与技术迭代，目前产量已占全球总产量的二分之一左右，逐步成为国际市场的主要参与者。

尽管我国已有现行国家标准如GB/T5829-2006《氪气》、GB/T5828-2006《氙气》和GB/T4844-2011《氖气》，但这些标准主要针对航天工业及电光源等传统应用领域，对气体纯度的要求远低于集成电路制造特别是光刻工艺所需级别。例如，光刻机使用的惰性气体要求纯度达到6N（99.9999%）以上，且对杂质含量有极为严格的限制。因此，制定专门针对电子级惰性稀有气体的技术标准，不仅有助于规范产品质量、提升行业技术水平，更是响应国家政策如《“十四五”推动高质量发展的国家标准体系建设规划》和《重点新材料首批次应用示范指导目录（2019年版）》的具体举措，对实现制造业高端化发展具有重要战略意义。

二、范围与主要技术内容

本标准文件规定了电子级惰性稀有气体（主要包括氦、氖、氩、氪、氙等）的技术要求、检验规则、试验方法以及标志、包装、运输和贮存等方面的内容。其适用范围是以工业级惰性稀有气体为原料，通过纯化工艺制得的高纯电子级气体产品，主要面向集成电路、平板显示、半导体照明等高科技制造领域。

在主要技术内容方面，标准重点涵盖以下部分：

1.技术要求：明确气体的纯度等级、杂质成分及其最大允许含量。例如，规定电子级氖气的纯度不低于99.9999%，对水、氧、氮、碳氧化物等关键杂质的浓度限值作出严格规定。

2.检验规则：包括抽样方法、检验类型（如出厂检验、型式检验）及合格判定准则，确保产品批次的一致性与可靠性。

3.试验方法：详细规定各项指标的检测方法，如采用气相色谱-质谱联用技术（GC-MS）分析痕量杂质，利用激光光谱法测定水分含量等，保证检测结果的准确性与可比性。

4.包装、储存与运输：针对电子气体的特性，规定必须使用内表面经特殊处理的高压钢瓶或复合材料容器，以避免二次污染；同时明确储存环境的温度、湿度要求及运输过程中的安全措施。

该标准的制定将填补国内在电子级高纯气体领域的标准空白，为企业生产、产品质量控制及市场应用提供统一规范，进一步促进我国电子气体产业的技术进步和国际竞争力提升。

介绍主要修订单位

本次标准修订工作主要由中国电子技术标准化研究院（CESI）牵头负责。该院是工业和信息化部直属事业单位，长期从事电子信息领域标准化科研工作，承担了大量国家标准和行业标准的制修订任务。在电子材料与工艺领域，CESI具备深厚的技术积累和丰富的标准制定经