光纤法珀高温气体压力双参量传感技术研究.pdfVIP

摘要

摘要

光纤干涉型传感器以其优良的耐高温性能和独特的结构在高温高压传感、气体和

流体传感领域具有重要的研究意义与应用价值。光纤法布里-珀罗(Fabry-Perot,FP)干

涉仪(Fabry-PerotInterferometer,FPI)高温压力传感器因具有体积小、易嵌入、实时性

强、稳定性高、测量灵敏度高、耐高温、不受电磁干扰等优点被引入飞行器发动机、

燃气轮机、石油测井等领域以监测结构健康状况。本文以飞行器发动机关键部位的高

温、压力监测为研究对象，以实现温度、气体压力的高灵敏度测量为研究目标，以光

纤干涉型高温气体压力传感原理为研究基础，设计制作了光纤Fabry-Perot干涉高温

气体压力传感器，并结合实验测试分析传感性能，具体研究工作如下：

简述了高温压力传感器研究的历程，对不同类型的高温压力传感器进行了简要介

绍，重点介绍了光纤Fabry-Perot干涉高温压力传感器及其增敏原理，对光纤

Fabry-Perot干涉型传感器的制备方法进行了讨论。

针对单腔FPI传感器存在的参量交叉敏感问题，基于光纤复合腔FPI传感器的传

感机理，结合单模光纤、柚子型光子晶体光纤和空芯光纤，制作了SMF-HCF-GMF

光纤复合腔FPI高温压力传感器，并应用于高温压力双参量测量，实验搭建温度、压

力传感系统，并在0-800℃、0-1MPa范围内研究了传感器的温度、压力传感特性，

温度灵敏度和气压灵敏度分别为9.63pm/℃和3.89nm/MPa。所设计制作的传感器具

有制作简单、重复性良好、稳定性好、交叉灵敏度低等特点。

为提高FPI传感器灵敏度、克服传统游标效应制作困难的问题，本文利用游标效

应的光学谐波，设计制作了一种基于谐波游标效应的光纤FPI高温压力传感器，传感

器由不同内径尺寸的空芯光纤和单模光纤拼接而成，实验结果表明，在谐波游标效应

的放大作用下，在25-400℃、0-1MPa环境下传感器压力灵敏度和温度灵敏度分别为

114nm/MPa和176pm/℃。

关键词：光纤干涉型传感器，高温气体压力监测，光纤法布里珀罗干涉仪，谐波游标

效应

I

西北大学硕士学位论文

II

ABSTRACT

ABSTRACT

Fiber-opticinterferometricsensors,sensorswiththeirhigh-temperatureexcellentresistance

andstructure,uniquehaveimportantresearchsignificanceapplicationsandinthefield

high-temperatureandhigh-pressuresensing,gas,ofandfluidFiber-opticsensing.

Fabry-Perot(FP)Interferometerhigh-temperaturepressure(FPI)areintroducedintothe

fieldofaircraftengines,gasturbines,oillogging,etc.duetotheirsmallsize,easy

embedding,highreal-time,highstability,highmeasurementsensitivity,high-temperature

resistance,andnoelectromagneticinterferencetomonitorthestructuralhealthcondition.

Inthispaper,thehightemperatureandgaspressure