MA基卤化物钙钛矿晶圆制备及其光电性能研究.pdfVIP

MA基卤化物钙钛矿晶圆制备及其光电性能研

究

摘要

随着信息科学的进步，卤化物钙钛矿半导体因其独特的光电特性，在光电探测领

域引起了广泛关注。近年来，钙钛矿在X射线探测方面的应用潜力逐渐显现，为医学

影像、无损检测等领域提供了新的可能。其中MA基卤化物钙钛矿材料因其高吸收系

数、长载流子扩散长度和低激子结合能等特性，在光电领域展现出优异的性能。其可

见光探测器与X射线探测器具有高灵敏度、快速响应和低成本等优点。然而传统的钙

钛矿形态主要以薄膜和单晶存在，薄膜厚度较薄不足以支持对X射线的吸收，而单晶

的复杂工艺及高成本限制了其广泛应用。鉴于此，本文采用溶液逆温析出法生成钙钛

矿微米晶，并通过粉末热压工艺制备出完整的多晶晶圆。基于此晶圆构筑了平面光电

探测器与直接型X射线探测器。

首先，本文选取MAPbCl钙钛矿，利用其温度越高溶解度越低的特性，无需特定

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反溶剂即可获得大量微米晶，并采用热压工艺制备钙钛矿多晶圆晶。通过改善热压温

度、压强等，系统地研究了工艺参数与圆晶质量之间的关系。最终采取高结晶度的致

密MAPbCl晶圆，构筑了金属-半导体-金属结构的光电探测器与直接型X射线探测器。

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研究了厚度与器件性能之间的关系，其中最优器件在405nm的可见光下，探测度可达

7-1

1.46×10Jones。在5V偏压下，直接型X射线探测器在低至19.8μGys的剂量率下

air

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依旧有明显响应，灵敏度高达30.96μCGycm。

然后，在前一个工作的基础上，为了降低钙钛矿的铅毒性并增强热稳定性，对

MABiI无铅钙钛矿开展了研究。在逆温结晶阶段通过添加无毒反溶剂碳酸二乙酯促

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进MABiI微米晶在溶液中的析出，热压高质量微米晶得到光电性能优异的MABiI

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晶圆，并组装成金属-半导体-金属结构的探测器。此方法污染性小，可在空气环境中大

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量制备。该器件展示了高线性拟合度，器件的灵敏度高达173.71μCGycm，且最低

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检测计量可低至120nGys,远优于目前商用X射线探测器，在医疗领域具有巨大的

air

应用前景。

【关键词】：MA基卤化物钙钛矿；热压工艺；多晶晶圆；X射线探测

I

PreparationandphotoelectricpropertiesofMA

halideperovskitewafers

Abstract

Withthedevelopmentofinformationscience,halideperovskitesemiconductorshave

attractedextensiveattentioninthefieldofphotoelectricdetectionbecauseoftheirunique

photoelectricproperties.Inrecentyears,theapplicationpotentialofperovskiteinX-ray

detectionhasgradually