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湿柔性湿度传感器的性能研究

摘要：超低湿度在各个领域都有广泛的应用，但应用于超低湿度检测的传感器较少，鲜有报道，在本论文中，采用湿化学方法制备NiI2薄膜，利用X射线衍射仪、透射电子显微镜、接触角对NiI2薄膜组成、表面化学性质等进行表征。采用滴涂工艺制作NiI2薄膜的湿度传感器，并从灵敏度、长期稳定性、响应恢复时间等方面对NiI2薄膜敏感元件的湿敏性能进行分析。最后对超低湿做出了机理解释，并说明在柔性方面的应用前景。整篇文章从材料制备、材料表征、器件制备、性能测试、应用潜能等方面进行分析研究。结果表明：NiI2在超低湿度范围内的阻抗变化很