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第46卷第4期红外技术Vol.46No.4

2024年4月InfraredTechnologyApr.2024

〈制冷技术〉

芯片级节流制冷器流动特性数值计算及制冷性能实验研究

童欣，李家鹏，邱杰，夏明，槐阳，谢坤圆，陈俊元

（昆明物理研究所，云南昆明650223）

摘要：芯片级节流制冷器（简称MMR）是一种采用微加工工艺制成的新型节流制冷器，其轴向尺寸

大幅短于传统节流制冷器，能够显著降低与之适配的红外探测器体积。为研究MMR的工作特性，

建立了适用于高压力工况下气体物性沿流动方向显著变化的微槽道流动计算模型，该模型与实验验

证结果符合良好。进一步在流动模型的基础上增加了微槽道换热、制冷器槽道分布和外形尺寸计算。

根据计算模型制造了MMR样机并对其进行了实验研究，样机流量实验数据与计算模型符合良好。

该样机在10MPa的氮气和氩气工况下分别达到了110K、119K的制冷温度，制冷量分别为231

mW、479mW，降温时间分别为250s、70s优于国外MMR性能，并且能够满足红外探测器对于节

流制冷器的制冷性能需求。

关键词：芯片级节流制冷器；微尺度流动；计算模型；制冷性能

中图分类号：TP39文献标识码：A文章编号：1001-8891(2024)04-0467-08

NumericalandExperimentalStudyofFlowCharacteristicsandCooling

PerformanceofMicroMiniatureRefrigerators

TONGXin，LIJiapeng，QIUJie，XIAMing，HUAIYang，XIEKunyuan，CHENJunyuan

(KunmingInstituteofPhysics,Kunming650223,China)

Abstract:Themicrominiaturerefrigerator(MMR)isanovelJoule-Thomsoncryocoolermanufactured

usingmicromachiningtechnology,anditsaxiallengthissignificantlyshorterthanthatoftraditionalJoule-

Thomsoncryocoolersusedininfrareddetectors.MMRscansignificantlyreducethesizeofinfrared

detectorswhentheyaresuccessfullyintegrated.TostudytheworkingmechanismofMMRs,amicrochannel

flowcalculationmodelisestablishedconsideringthehighworkingpressureandsignificantchangeinthe

gaspropertiesalongthemicrochannels,andthecalculationmodelisverifiedexperimentally.Theheat

transfercharacteristics,microchanneldistribution,andoveralldimensi