纳米电子学与纳米加工.pptVIP

2.operationcanonlyberealisedinIII-Vsemiconductorsatpresentalthoughrecentdemon-strationsofinterbandtunnellinginSi/SiGedeviceshavebeendemonstratedwithpeak-to-valleyratios(PVR)of2.05andapeakcurrentdensityof22kA/cm2[Rommel1998].RTDsinSiGehavealsobeenfabricatedbutwithPVRsof1.2andcurrentdensityof400A/cm2.ThepreferredsystemwouldbeSi/SiO2RTDs[Klimeck1997]whichwouldallowCMOScompatibleprocessingandintegrationofRTDswithCMOScircuitsbutthereareproblemswithgrowingsinglecrystalSibetweenSiO2barriers.第29页，共50页，星期日，2025年，2月5日3.ForTHzoscillatorapplications,ahighoutputpowerfromtheRTDdeviceisimportant.Atpresenttheoutputpowersarequitelow(μW)andrequireimprovements(mW).第30页，共50页，星期日，2025年，2月5日纳米加工方法：1.薄膜生长技术；（MBE,MOCVD等)2.用于CMOS的加工技术；3.新兴的纳米加工技术；第31页，共50页，星期日，2025年，2月5日用于CMOS的加工技术:光刻蚀技术；超紫外线刻蚀技术；X射线刻蚀技术；电子束溅射；离子束溅射；第32页，共50页，星期日，2025年，2月5日新兴的纳米加工技术：电子束纳米刻蚀；基于SPM的纳米加工技术；Nanoimprint;分子自组装技术；第33页，共50页，星期日，2025年，2月5日第34页，共50页，星期日，2025年，2月5日不同加工技术的比较：第35页，共50页，星期日，2025年，2月5日第1页，共50页，星期日，2025年，2月5日纳米电子学的含义:在0.1-100nm的纳米结构(量子点)内探测,识别与控制单个量子或量子波的运动规律,研究单个原子,分子人工组装和自组装技术,研究在量子点内,单个量子或量子波所表现出来的特征与功能,用于信息的产生,传递和交换的器件,电路和系统及其在信息科学技术,纳米生物学,纳米测量学,纳米显微学,纳米机械学等中应用的学科。第2页，共50页，星期日，2025年，2月5日纳米电子学的三个主要方向：集成微系统。量子或纳米器件。在上述基础上，开发和建立纳米和量子级系统的数据处理，计算，管理以及量子通信网络的基础理论和基础科学。第3页，共50页，星期日，2025年，2月5日纳机电系统（NanoeltctromechanicalSystems,NEMS）研究尺度在1-100nm范围内结构、元件和系统的性质与应用。MEMS和NEMS这两个前后来到，相互联系又不相同的微系统，正代表微米纳米技术的关系。和硅微电子加工相比，NEMS的材料广和加工的空间分辨率高。NEMS可能对传感、医学诊断、显示和存储等应用带来革命性影响。第4页，共50页，星期日，2025年，2月5日美国康乃尔大学的一个科研组最近研制出可进入人体细胞的纳米机械—由金属镍螺旋桨（直径为150纳米、长为750纳米）、生物电机和镍柱体（直径为80纳米、高为200纳米）三部分组成，是一个有机的的和无机的混合系统，它的大小与病毒微粒（17—1000纳米）差不多，将来可以在人体细胞内施放药物和清除细胞的缺陷等任务。电机的动力来自人体的生物“燃料”--一种化学物质ATP（AdenosineTriphosphate腺苷三磷酸盐），它转化为机械能量，使得金属推进器的转速达到每秒8圈，可以连续运转两个半小时。这种设备的三个组件放在一起就能进行自组装、维护和修理。镍螺旋桨的制作用了电子蒸发、电子束暴光和各向同性刻蚀，并涂有化学薄膜。这种新技术仍处于研制初期，其成功率还不高，约为