基于皮秒激光诱导击穿光谱技术的镓酸锌薄膜的快速定量分析研究.pdfVIP

第52卷第3期红外与激光工程2023年3月

Vol.52No.3InfraredandLaserEngineeringMar.2023

基于皮秒激光诱导击穿光谱技术的酸锌薄膜的

快速定量分析研究

董丽丽，高晴²，吴家森²，夏祥宇²，刘世明？，修俊山2*

(1.山东理工大学化学化工学院，山东淄博255000;

2.山东理工大学物理与光电工程学院，山东淄博255000)

摘要：采用射频磁控溅射方法在不同的溅射功率下制备了掺杂Ga元素的ZnO透明导电薄膜材料

(ZnGa2O4,GZO),在GZO薄膜的制备过程中，溅射功率会对样品的组分配比产生影响，从而导致

GZO薄膜的性能产生差异。文中利用皮秒激光诱导击穿光谱技术(PS-LIBS)对GZO薄膜进行了微烧

蚀分析，对GZO薄膜的关键元素浓度比进行了快速定量分析研究。结果表明GZO薄膜的光学性能与

元素谱线强度比之间存在一定的联系，随着溅射功率的增加，Zn/Ga的谱线强度比值与浓度比呈现出

一致的变化，Ga元素的含量与样品的禁带宽度变化一致。同时，使用玻耳兹曼斜线法与斯塔克展宽法

对等离子体温度与电子密度进行了计算。所有结果表明,PS-LIBS技术可以实现GZO薄膜关键组分

配比的快速分析，为磁控溅射法制备GZO薄膜的工艺现场的快速性能分析、制备参数的实时优化提供

了技术参考。

关键词：射频磁控溅射法；皮秒激光诱导击穿光谱技术；等离子体温度；电子密度；定量分析

文献标志码：ADOI:10.3788/IRL

中图分类号：0433.4

0引言新型透明导电薄膜材料。射频磁控溅射法作为一种

工艺成熟的薄膜材料制备方法，由于其方法稳定、成

随着对于纳米材料研究的不断深人，纳米材料的

膜质量较高等优点，已经被广泛地应用到科研以及工

重要性与先进性也日益凸显，对于一些结构新颖，性

业领域[12-13]。此次实验使用射频磁控溅射的方法在

能独特的半导体纳米材料的研究正得到越来越广泛

不同的溅射功率下沉积制备GZO薄膜样品，在

的关注。透明导电氧化物纳米薄膜由于具备良好的

导电性、可见光范围内较高的透过率等特性，在平面GZO薄膜材料的制备过程中，溅射工艺参数的变化

显示器、液晶显示屏幕、薄膜太阳能电池等诸多领域往往会使其组分配比产生差异，导致样品的性能不

同。因此需要对制备得到的GZO薄膜进行快速的组

都有广泛的应用。目前，较为常用的由锡掺杂氧化

(ITO)薄膜[1-3]、氟掺杂SnO,导电薄膜(FTO)[4-1]、铝掺分配比分析，从而对样品的性能进行分析，优化溅射

杂ZnO薄膜(AZO)7-9]等。但是，它们在大量使用的的工艺参数。

同时也伴随着一些缺点，例如原料储存量少、不够环目前，常用的一些分析测试手段有X射线荧光分

保、成本昂贵等等。因此，寻求它们的替代产品，一直

是该领域的一个重要的研究方向。的元素分析领域都有着较为广泛的应用，但是这些方

酸锌(ZnGa2O4,GZO)薄膜是通过ZnO薄膜掺法的测试过程复杂繁琐，测试时间比较长。对于GZO

纳米薄膜的快速、实时、微损伤分析要求都或多或少

杂Ga元素得到的,其性能接近传统的ITO薄膜[10-,

并且Ga元素可以提高其载流子浓度，获得宽禁带的