CN110625833B 一种用于晶硅的上下料单元及上下料方法 （青岛高测科技股份有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN110625833B(45)授权公告日2025.07.01

(21)申请号201910898409.2

(22)申请日2019.09.23

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN110625833A

(43)申请公布日2019.12.31

(73)专利权人青岛高测科技股份有限公司

地址266000山东省青岛市高新技术产业

开发区火炬支路66号

(72)发明人张璐郭党刘钢张善雷孙承政陈俊儒

(74)专利代理机构北京卓岚智财知识产权代理有限公司11624

专利代理师郭智

(51)Int.CI.

B28D5/00(2006.01)

(56)对比文件

CN201804900U,2011.04.20CN203317584U,2013.12.04

CN211306981U,2020.08.21审查员孙晓慧

权利要求书2页说明书5页附图5页

(54)发明名称

一种用于晶硅的上下料单元及上下料方法

(57)摘要

CN110625833B本发明涉及一种用于晶硅的上下料单元及上下料方法，属于晶硅加工设备技术领域，该晶硅的上下料单元与晶硅切片装置配合使用，其包括底座以及位于底座上的晶硅存储机构，所述晶硅存储机构沿着晶硅的轴向分为两级，其分为上料组件和下料组件，输送机构位于所述晶硅存储机构的上方，位于上料组件和下料组件上的晶硅均通过晶托相固定，所述输送机构通过支撑框架与底座连接，其包括升降组件和输送组件，升降组件与支撑框架固连，输送组件通过支撑板与升

CN110625833B

CN110625833B权利要求书1/2页

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1.一种用于晶硅的上下料单元，与晶硅切片装置配合使用，其包括底座(1)以及位于底座(1)上的晶硅存储机构，其特征在于，所述晶硅存储机构沿着晶硅的轴向分为两级，其分为上料组件(2)和下料组件(3),输送机构(4)位于所述晶硅存储机构的上方；

位于上料组件(2)和下料组件(3)上的晶硅均通过晶托(5)相固定；

所述输送机构(4)通过支撑框架(6)与底座(1)连接，其包括竖直设置的升降组件(7)和水平设置的输送组件(8),升降组件(7)与支撑框架(6)固连，输送组件(8)通过支撑板(9)与升降组件(7)产生相对运动；

所述输送组件(8)包括输送部(801)和驱动部，所述输送部(801)包括沿着晶硅轴向设置的两条输送滑轨(8011)和与输送滑轨(8011)相配合的输送滑块(8012),所述支撑板(9)沿竖直方向设置，其一侧与输送滑轨(8011)垂直固连，其另一侧平行的设置两条滑轨槽(901),驱动部包括输送电机和齿条(8013),所述输送电机的输出端与齿轮固连，通过齿轮与齿条(8013)配合驱动输送滑块(8012)沿着输送滑轨(8011)滑动，所述输送滑块(8012)的内侧沿着输送滑轨(8011)的长度方向固设齿条固定块(8014),所述齿条(8013)固定在所述齿条固定块(8014)上，齿条固定块(8014)远离升降组件(7)的一端设置有推拉固定块(8015);

所述输送滑块(8012)的外侧间隔设置有与所述晶托(5)相配合的搭接齿(8016),所述搭接齿(8016)的纵截面呈L形，其一端与所述输送滑块(8012)固连；

所述晶托(5)包括沿着晶硅轴向设置的固定台(501),所述固定台(501)的上表面间隔设置有两个把手(502)与推拉固定块(8015)相配合以将晶托(5)推进和拉出晶硅切片装置，两个把手(502)之间固设有固定槽(503),所述固定槽(503)与固定台(501)成一体结构且其沿着固定台(501)的方向设置，在所述固定槽(503)的两侧对称的固设有至少两根固定杆(504),所述固定杆(504)与所述搭接齿(8016)配合使用以抬升晶托(5),且所述固定杆(504)与固定托块(304)相平行设置；

所述固定台(501)的两端向外延伸形成凸台(505),所述凸台(505)搭接在固定托块(304)上用于支撑晶托(5)以及固定在其下方的晶硅。

2.根据权利要求1所述的一种用于晶硅的上下料单元，其特征在于，L形直角的两端固设有防止晶托(5)滑脱的挡板(8017)。

3.根据权利要求2所述的一种用于晶硅的上下料单元，其特征在于，所述升降组件(7)包括升降板(701)和升降驱动组件，所述升降板(701)位于支撑框架(6)