CN110987870B 基于波长调制光谱技术的实时监测气体浓度的系统和方法 （天津同阳科技发展有限公司）.docxVIP

(19)国家知识产权局

(12)发明专利

(10)授权公告号CN110987870B(45)授权公告日2025.07.01

(21)申请号201911326880.0

(22)申请日2019.12.20

(65)同一申请的已公布的文献号申请公布号CN110987870A

(43)申请公布日2020.04.10

(73)专利权人天津同阳科技发展有限公司

地址300384天津市滨海新区华苑产业区

兰苑路五号A座-702

(72)发明人李永刚张涛李洪刚魏莹莹

(56)对比文件

CN211505210U,2020.09.15

CN106323878A,2017.01.11

朱雁军等.基于可调谐激光吸收光谱技术的免校准硫化氢气体传感器.激光杂志.2017,38(05),第40-44页.

审查员张佳宁

(74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任

公司11021专利代理师吴梦圆

(51)Int.CI.

GO1N21/39(2006.01)

权利要求书2页说明书7页附图3页

(54)发明名称

基于波长调制光谱技术的实时监测气体浓度的系统和方法

(57)摘要

CN110987870B一种监测气体浓度的系统，包括分布式反馈激光器、信号发生模块、角锥棱镜、离轴抛物面镜、光电探测模块、信号传输模块、锁相放大模块和信号处理模块，其中：所述分布式反馈激光器输出的激光经准直后通过离轴抛物面镜中的中心孔和目标气体的待测区域，由角锥棱镜反射回至离轴抛物面镜，返回的激光汇聚到所述光电探测模块的光敏区；信号传输模块将所述光电探测模块采集到的电信号传输给锁相放大模块；锁相放大模块利用所述信号发生模块提供的参考信号将所述光电探测模块采集到的电信号进行解调；所述信号处理模块通过滤波器提取2f信号，

CN110987870B

信号发生模块

信号发生模块

信号处理模块

电流驱动模块一

领相放大模块

遥度控制模块

激光器

信号传输模块

连轴地物面他。目标区域地维横愧

光电探测模块

CN110987870B权利要求书1/2页

2

1.一种监测气体浓度的系统，其特征在于，包括分布式反馈激光器、信号发生模块、角锥棱镜、离轴抛物面镜、光电探测模块、信号传输模块、锁相放大模块和信号处理模块，其

中：

所述分布式反馈激光器输出的激光经准直后通过离轴抛物面镜中的中心孔和目标气体的待测区域，由角锥棱镜反射回至离轴抛物面镜，返回的激光汇聚到所述光电探测模块的光敏区；

信号传输模块将所述光电探测模块采集到的电信号传输给锁相放大模块；

锁相放大模块利用所述信号发生模块提供的参考信号将所述光电探测模块采集到的电信号进行解调；

所述信号处理模块通过滤波器提取2f信号，并利用滤波器对所述提取的信号进行平滑滤波，从而为后续的算法处理提供2f信号和直流信号；

所述信号处理模块快速反演浓度的反演具体步骤如下：

预采集待测气体区域不同浓度的2f信号和直接吸收信号，进行如下处理：

在已知为吸收峰的位置处提取2f波峰的最大值，并在吸收峰两翼的位置处提取2f波谷的左翼最小值和右翼最小值，将最大值减去左翼最小值和右翼最小值的平均值得到2f吸收峰的峰值，记为2fpeak;

由于直接吸收信号的点数与2f信号的点数已知相等，选取无吸收峰位置处的某段直接吸收信号，并对该段直接吸收信号求均值，记为dcmean;

利用直接吸收信号的均值dcmean对2f吸收峰的峰值2fpeak进行归一化处理，得到归一化的2f值，记为2fmean;

建立浓度与2fmean的非线性关系式；

将待测浓度的气体冲入待测气体区域中，计算得到所述归一化的2f值，并将该值代入已建立的非线性关系式，即求得待测气体浓度的真值。

2.根据权利要求1所述的监测气体浓度的系统，其特征在于，所述信号发生模块产生锯齿信号和正弦信号，并将正弦信号调制到锯齿信号上作为所述分布式反馈激光器的驱动信号；

所述光电探测模块用于将接收到的光信号转换为含有气体浓度信息的电信号，得到直接吸收信号。

3.根据权利要求1所述的监测气体浓度的系统，其特征在于，所述系统还包括温度控制模块，所述温度控制模块用于控制所述分布式反馈激光器的工作温度，内部的二级温控可将温度准确控制在所需的温度，误差为±0.001℃,有效保证了所述分布式反馈激光器输出波长的稳定性；

所述系统还包括电流驱